Gebraucht AXCELIS / FUSION Gemini GPS #9272582 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Gemini GPS ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die speziell für die Herstellung hochpräziser mikroelektronischer Strukturen mit hohem Aspektverhältnis entwickelt wurde. Ein wesentliches Merkmal dieses Werkzeugs ist seine hohe Ätz- und Ascheauflösung: demonstriert durch seine einheitlichen, linearen Ätzraten und eine 20-Mikron-Strukturmerkmalsgröße. FUSION Gemini GPS ist ideal für die fortschrittliche Herstellung von Wafern mit hochkomplexen 3D-Strukturen. AXCELIS GEMINI GPS ist mit zwei unabhängigen Kammern ausgestattet, die jeweils mit einem eigenständigen 8-Achsen-Roboter zur präzisen Positionierung und Rangierung von Wafern ausgestattet sind. Diese Fähigkeit, die Wafer mehrachsig zu bewegen, ermöglicht eine wiederholbare Positionierung, die vollautomatische Prozessabläufe ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die Multi-Achsen-Bewegung die Verwendung mehrerer Verarbeitungsrezepte sowie die Möglichkeit für fortgeschrittene Techniken wie Winkellandschaftsmuster. AXCELIS/FUSION GEMINI GPS wird durch ein leistungsstarkes Elektronikpaket angetrieben. Es verfügt über variable programmierbare HF/DC-Stromversorgungsausgänge, volle Bewegungssteuerung von bis zu 8 Achsen und 32 digitale Ein- und Ausgänge für die Maschine-I/O-Steuerung. Alle diese Funktionen ermöglichen eine präzise Prozesskontrolle, was zu höherer Ausbeute und berechenbarer Leistung führt. FUSION GEMINI GPS verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, um seine Prozessqualität zu verbessern. Ein integriertes Multi-Vision-System ermöglicht die automatisierte Ausrichtung und Überprüfung von Wafern und sorgt für genaue Prozessergebnisse. Darüber hinaus nutzt die Maschine fortschrittliche hochpräzise HF-Leistungssteuerung und direkt angetriebene Wechselstromventile zur Einstellung des Fluggasstroms und bietet eine genaue Steuerung der Prozessumgebung. Abschließend ist GEMINI GPS eine leistungsstarke und zuverlässige Ätz-/Aschemaschine, die speziell für die Herstellung von hochpräzisen mikroelektronischen Strukturen mit hohem Seitenverhältnis entwickelt wurde. Seine mehrachsige Bewegung, variable RF/DC-Stromversorgung, Multivision und präzise Gassteuerung ermöglichen eine fortschrittliche Verarbeitung mit hoher Ausbeute. Es ist eine ideale Lösung für fortschrittliche mikroelektronische Fabs.