Gebraucht AXCELIS / FUSION Gemini PCU #9258508 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Gemini PCU, oft als FUSION Gemini PCU bezeichnet, ist ein Ätz- und Aschewerkzeug, das plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) verwendet, um eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden und zu ätzen. AXCELIS Gemini PCU ermöglicht das hochpräzise Ätzen und Aschen auf einer Vielzahl von Substraten. Es ist eine Top-Wahl für das Ätzen und Aschen in der Halbleiterindustrie, da es eine große Auflösung und Wiederholbarkeit bietet. Zwillinge PCU arbeiten, indem sie niedrige Stromspannung, Hochleistungsradiofrequenz-Energie verwenden, einige hundert Watt der Macht in einer Unterdruckumgebung zu erzeugen. Diese Umgebung dient dazu, die Abscheidung einer Materialschicht für den Ätzprozess zu erleichtern. Der Ätzvorgang erfolgt dann durch Durchleiten des Materials durch eine weitere mit Plasma gefüllte Kammer, in der das Material bombardiert und weggeätzt wird. Das in dieser Kammer erzeugte Plasma wird von mehreren Sensoren und anderen elektronischen Komponenten überwacht und gesteuert. Der Ätzvorgang erfolgt in zwei Stufen: der anfängliche Ätzvorgang und der Nachätzvorgang. Die anfängliche Ätzung verwendet eine Vorspannung, um die von der PECVD abgeschiedene Materialschicht wegzuätzen. Dieses Material wird in einer Form weggeätzt, die durch das auf das Substrat geätzte Muster bestimmt wird. Der Nachätzprozess verwendet einen Ionenstrahl höherer Leistung, um die Form des Musters in das Substrat weiter zu ätzen. Dies geschieht mit einer vom Hersteller entwickelten kalibrierten Ätzstrategie. AXCELIS/FUSION Gemini PCU ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Kupfer, Aluminium, Zinn, Wolfram, Glas und Silizium zu ätzen und zu aschen. Dies macht es eine gute Wahl für Anwendungen, in denen komplexe Ätzmuster und Ascheanforderungen beteiligt sind. Es ist auch sehr wiederholbar, was bedeutet, dass jedes Substrat jedes Mal die gleichen Ätz- und Ascheergebnisse beibehält. FUSION Gemini PCU gilt als zuverlässiges und leistungsstarkes Ätz- und Aschewerkzeug. Seine Fähigkeit, qualitativ hochwertige, präzise und wiederholbare Ergebnisse zu produzieren, macht es zur idealen Wahl für das Ätzen und Aschen in der Halbleiterindustrie. Seine Genauigkeit und Reproduzierbarkeit machen es auch für eine Vielzahl anderer Anwendungen geeignet, bei denen geätzt und geascht werden muss.