Gebraucht AXCELIS / FUSION Gemini Polo #9398809 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Gemini Polo ist eine kompakte Hochdurchsatz-Ätz-/Aschemaschine für Präzisionsanwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist mit einer einfachen und intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die eine effiziente und einfache Bedienung ermöglicht. Das System verfügt über eine automatisierte, hochpräzise Achsenstufe, die überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. FUSION Gemini Polo ist ideal für die Substratverarbeitung mit seinen fortschrittlichen Ätz- und Aschefunktionen. AXCELIS Gemini Polo hat ein einfaches, platzsparendes Design, das sich perfekt für Labore eignet, in denen Platz begrenzt ist. Es enthält eine SEM-Einheit (Onboard Secondary Electron Imaging) zur Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung. Die Maschine enthält auch eine intelligente Auto-Tune-Funktion, die es ermöglicht, Rezepte für optimale Ergebnisse zu analysieren und abzustimmen. Gemini Polo verfügt über eine große Web-basierte Überwachungs-Tool-Schnittstelle, so dass es einfach ist, die Verarbeitung von einer externen Quelle aus zu steuern und zu überwachen. Der leistungsstarke Etch/Asher nutzt das HiDef Plasma-Asset, das überlegene Gleichmäßigkeit, Präzision und Reproduzierbarkeit bietet. Die große Prozesskammer bietet Kammergrößen von 250 bis 800 mm und eignet sich somit für eine Vielzahl von Prozessanwendungen. AXCELIS/FUSION Gemini Polo verwendet auch ein automatisches Druckregelungsmodell, das eine optimale Leistung und Wiederholbarkeit auf allen Druckniveaus gewährleistet. Aufgrund seines hohen Durchsatzes, seiner Genauigkeit und Zuverlässigkeit ist FUSION Gemini Polo eine ideale Lösung für Waferbearbeitungsanwendungen, die eine überlegene Ätz-/Aschepräzision erfordern. Die Kompatibilität der Geräte mit robuster Hardware und fortschrittlichen Software-Tools bietet die Flexibilität, Prozesse nach spezifischen Anforderungen zu planen und auszuführen. Die benutzerfreundliche Oberfläche und der einfach zu bedienende Rezepteditor machen AXCELIS Gemini Polo zu einem idealen Etch/Asher für belebte Labore.