Gebraucht AXCELIS / FUSION Gemini #293767155 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Gemini ist ein fortschrittliches reaktives Ionenätzgerät (RIE), das für die Mikrofabrikation von Halbleiter- und verwandten mikroelektronischen Materialien verwendet wird. Es ist effektiv für das Präzisionsätzen von Silizium, Polymeren, Metallen, Dielektrika, TiN, SiN, SiO2 und anderen Materialien. Das System verfügt über eine große Spurweite von bis zu 25 Wafern und ist in der Lage, bis zu 0,1 µm Funktionsgrößen zu ätzen. Das Gerät ist mit einem Tieftemperatur (150 ° C) senkrechten Plasmagenerator ausgestattet, der die Ätzgenauigkeit erhöht und ein gleichmäßiges Ätzprofil erzeugt. Es ist auch mit einer fortschrittlichen abrasiven Medien-Vorreinigungseinheit ausgestattet, die die Entfernung von Kontaminanten und die Entfernungsraten von Wafern maximiert. Die Prozessrezepte sind in Echtzeit einstellbar und ermöglichen genaue und präzise Prozessparameter, um eine optimale Qualität zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über ein fortschrittliches Endpunkterkennungswerkzeug, das einen Echtzeit-optischen Charakterisierungsprozess verwendet, um Endpunkte zu erkennen und gleichmäßigere Ätzergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus können Benutzer schnelle und präzise Breitenanpassungen über eine Vielzahl von Funktionsgrößen vornehmen, indem sie die feinabgestellte Steigungssteuerung des Werkzeugs verwenden. Dieses Tool ermöglicht es Benutzern, die Linienbreite schnell und genau anzupassen, um eine Vielzahl von Konstruktionsanforderungen zu erfüllen. Schließlich bietet die automatisierte Benutzeroberfläche des Asset eine vollständige Prozesskontrolle und Rückverfolgbarkeit, die volle Flexibilität bei gleichzeitiger Einhaltung wiederholbarer Ätzparameter ermöglicht. Das Modell bietet auch ein umfassendes Sortiment an Vakuumverarbeitungszubehör wie Maskieren, Sputtern, Heizen und Passivieren nach dem Ätzen. Die Ausrüstung ist kompatibel mit einer Vielzahl von industriellen Standardlieferungen wie COT-Technologie, AMAT Integrapure, Fusion PureStrip und AXCELIS Wolframstreifen. Dieser fortschrittliche Ätzer bietet ein äußerst zuverlässiges und präzises Verfahren zum Ätzen von Präzisionshalbleitern und verwandten mikroelektronischen Materialien. Die Kombination aus Funktionen, präziser Prozesssteuerung und automatisierter Benutzeroberfläche macht es zu einem idealen Werkzeug für die Forschung und Produktion hochauflösender elektronischer Komponenten.