Gebraucht AXCELIS / FUSION GPS #9226279 zu verkaufen
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ID: 9226279
Wafergröße: 8"
Dual chamber UV Stabilizer / Bake system, 8"
With 3-Axis robot
Missing parts.
AXCELIS/FUSION GPS ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascherplattform, die überlegene Prozesssteuerung, Wiederholbarkeit und Produktivität für Prozessintegration und Produktion bietet. Es umfasst eine umfassende Palette von Software-, Hardware- und Verbrauchsgütern, die es Anwendern ermöglichen, hochpräzise und reproduzierbare Prozesse für eine Vielzahl von Anwendungen zu erstellen. Die FUSION GPS-Plattform verfügt über ein leistungsstarkes Steuermodul mit einer Reihe von Software- und Hardwarekomponenten und eignet sich somit für eine Reihe von Prozesskonfigurationen. Die Software ist sehr flexibel und benutzerfreundlich konzipiert, so dass Anwender das System schnell und effizient programmieren und steuern können. Dieses System kann in Kombination mit einer Vielzahl von Ätzchemikalien und Medien eingesetzt werden und eignet sich daher gut für integrierte Prozeß-, Produktions- und Kontaktierungslithographieanwendungen. Die Hardwarekomponenten der AXCELIS GPS Plattform bestehen aus einer Elektronenstrahlquelle, einer Optikeinheit, einer Waferstufe und einer Ionenquelle. Die Elektronenstrahlquelle erzeugt einen energiereichen Strahl, der zum selektiven Ätzen von Merkmalen auf Halbleitermaterialien verwendet wird. Die Optikeinheit ermöglicht die korrekte Fokussierung des energiereichen Strahls und ist mit Verschlusssteuerung und anderen Funktionen zur Optimierung des Ätzprozesses ausgestattet. Die Waferstufe ermöglicht das Drehen und Bewegen des Wafers, um die gleichmäßige Verarbeitung aller Merkmale zu gewährleisten. Schließlich wird die Ionenquelle verwendet, um Ionen in das Zielsubstrat zu implantieren, was den Ätzprozess weiter verbessert. Die GPS-Plattform ist mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Einrichtungen ausgestattet. Zu diesen Funktionen gehören ein hochauflösendes Flachbildschirm und erweiterte Sicherheitsverriegelungen, die Druck-, Vakuum- und Temperaturänderungen erkennen, die während der Verarbeitung auftreten können, und den Bediener benachrichtigen, wenn ein unsicheres Ereignis auftritt. Darüber hinaus verfügt die Plattform über ein integriertes Kryo-Kühlsystem, das die Verarbeitungsumgebung kühl und sauber hält. Schließlich umfasst die AXCELIS/FUSION GPS-Plattform eine Reihe von Verbrauchsteilen und -materialien, um vielversprechende Ergebnisse in jeder Anwendung zu gewährleisten. Von Verbrauchsmasken bis hin zu Probenhaltern, Kabeln und mehr sorgt die Plattform für zuverlässige und konsistente Leistung bei jedem Ätz- und Veraschungsprozess. Im Laufe der Zeit liefert die Plattform überlegene und wiederholbare Prozessergebnisse.
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