Gebraucht AXCELIS / FUSION Integra #9201835 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Integra ist eine hochentwickelte Ätz- und Ascheausrüstung für die Hochvolumenverarbeitung in der Halbleiterindustrie. Dieses fortschrittliche System kombiniert Plasmaätzen und Ofenaschen mit der Flexibilität, um mehrere Funktionen in einer Einheit zu ermöglichen. Die Maschine ist sehr zuverlässig und effizient und erfüllt problemlos die Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse. FUSION Integra ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen zu verarbeiten und kann bis zu 6 Ätz- und 4-Aschvorgänge gleichzeitig durchführen. Das Werkzeug ist mit einer 50 "(1270mm) ICP-Quelle und Mehrzonen-Isolationskammern gebaut, um einen stabilen Betrieb für lange Prozesse zu gewährleisten. Es hat eine hohe Durchsatzleistung von bis zu 75 Wafern pro Stunde für Ätzprozesse und bis zu 25 Wafer pro Stunde für das Waschen. Die Anlage verfügt außerdem über ein Zweikühler-Kühlmodell zur Verbesserung der Leistung und Zuverlässigkeit sowie über eine Präzisionsgeschwindigkeit erzeugte Inertgas-Förderausrüstung, um während des gesamten Prozesses konstante Gasdrücke zu gewährleisten. AXCELIS Integra verfügt über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche mit der Möglichkeit, bis zu 50 Rezepte für einen schnellen und einfachen Zugriff zu speichern. Das System verfügt auch über eine leistungsstarke und hocheffiziente Steuereinheit mit abgestimmten PID-Algorithmen, die eine flexible, genaue und wiederholbare Prozesssteuerung bieten. Die Maschine verfügt auch über eine Präzisionsreinigungsstation, um eine einfache und effektive Reinigung von Werkzeugkomponenten zwischen den Prozessen zu ermöglichen. Um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten, verfügt Integra über eine Reihe von eingebauten Sicherheitsfunktionen. Die Anlage ist mit Interlocks ausgestattet, um versehentliches Starten oder Abschalten des Prozesses, Flammenerkennungssysteme zu verhindern, um sichere, betriebliche und Notabschaltungsfunktionen zu gewährleisten. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION Integra ein fortschrittliches Modell, ideal für Ätz-, reaktive Ionenätz- und Ascheprozesse. Dieses Gerät bietet eine zuverlässige, effiziente und benutzerfreundliche Lösung, die nicht nur die Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterverarbeitungsanforderungen erfüllt, sondern auch übertrifft.