Gebraucht AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201805 zu verkaufen

ID: 9201805
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Single chamber asher 2001 vintage Power: 208VAC 3 Phase 50 / 60 HZ Installed in wafer fab Fully operational Manuals (CD) available with tool Asher component details Mainframe: Type Standalone Model Matrix Bobcat 209S asher Chamber: How Many? 1 Type RIE Process ASH Load locks / Load plate: Open cassette or SMI Open cassette How Many? 1 Robot: How Many? 1 Method of Transport Transfer Unit Make / Models: Rorze, RR701 RF Generators: How Many? 2 Make/Models: Comdel FR-111R2, Microwave generator 3kw Gas box: Gases used per chamber: 3 Identify gases: N2-1000, N2 -300, N2- 1000 (Gases run O2,N2, none) MFC’s used (Make /Model): MKS Control system: PC or Control Rack? PC Software ype and Version: Windows nt.
AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung integrierter Schaltungen wie Mikroprozessoren und DRAMs. FUSION Bobcat 209S ist äußerst zuverlässig, präzise und effizient und bietet hervorragende Leistung beim Ätzen oder Aschen von Anwendungen. Es hat die Fähigkeit, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu verarbeiten und bietet sowohl einseitige als auch doppelseitige Verfahren. Die elektrischen Komponenten der Systeme sind für den Betrieb mit einer Nennspannung von 200V ausgelegt und können bis zu 600V handhaben, was zu einer größeren Kontrolle der Ätz- und Ascheprozesse führt. Das System verfügt außerdem über eine patentierte Schwenktürkammer, die ein schnelles und einfaches Be- und Entladen des Substrats ermöglicht. Die Schwenktür hilft auch bei der Aufrechterhaltung einer konsistenten Temperatur für den gesamten Prozess, wodurch die Belastung mit Substrattemperaturschwankungen reduziert wird. MATRIX Bobcat 209S bietet auch eine einzigartige integrierte Computer Monitor VGA/Videokamera. Dies ermöglicht es dem Benutzer, jedes Substrat visuell zu überprüfen, um die Prozesskonsistenz zu überwachen. Ein automatisches Endpunkterkennungssystem überwacht auch die Prozessbedingungen, um sicherzustellen, dass der Ätz- und Ascheprozess korrekt endet. Darüber hinaus ist AXCELIS Bobcat 209S HF-fähig und verfügt über eine temperaturgesteuerte Plattform für verbesserte Dichte, Gleichmäßigkeit und Ätzratenstabilität. Es verfügt auch über einen Massendurchflussregler, der eine präzise axiale Abscheidungssteuerung während des gesamten Prozesses ermöglicht. Das System unterstützt auch mehrere Rezeptprogramme, die es dem Benutzer ermöglichen, das Ätz- und Ascherezept zu programmieren und Rezepte für zukünftige Referenzen zu speichern. Bobcat 209S ist auf maximale Leistungsfähigkeit und Effizienz ausgelegt und ermöglicht präzise, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheprozesse innerhalb kurzer Zeit. Es ist gut geeignet für Hersteller, die mehr Leistung und verbesserte Produktionsgeschwindigkeit suchen. Es ist zuverlässig und benutzerfreundlich für diejenigen, die einen zuverlässigen Ätzer/Ascher für ihre integrierten Schaltungsanforderungen suchen.
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