Gebraucht AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201816 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für Anwendungen mit fortschrittlicher chemisch-mechanischer Planarisierung (CMP) entwickelt wurde. Es verwendet eine computergesteuerte rotierende Platte, um den Wafer während des Ätzens oder Aschens über die Prozesskammer zu bewegen, was einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Prozesskontrolle bietet. Diese CMP-Ausrüstung bietet ein effektives Werkzeug zum präzisen Entfernen von Material von der Waferoberfläche. FUSION Bobcat 209S bietet einen hohen Automatisierungsgrad für CMP-Prozesse. Zu den Merkmalen gehören ein fortschrittlicher Prozessregler, Drucksensoren sowohl in den Substraten als auch im Flüssigkeitszufuhrsystem zur Einstellung der Güllezufuhr, Abgasdrücke, Temperatur- und Druckregelung für jeden Prozessschritt und automatisierte Prozessspül- und Waferreinigungszyklen. MATRIX Bobcat 209S ist zudem mit einer VDIL-Funktion ausgestattet, die es ermöglicht, mehrere Losgrößen ohne Eingriff des Bedieners zu verarbeiten. Das Gerät ermöglicht auch eine präzise Prozesssteuerung mit optionalen DPM (diffractive Feedback) Sensoren. Darüber hinaus bietet AXCELIS Bobcat 209S eine Vielzahl von Prozessunterstützungswerkzeugen wie Temperatur- und Druckprofile, Waferreinigungsprofile und Prozessrezepte. Um eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, verwendet Bobcat 209S Software, die mit Rezeptmanagement-Softwaresystemen kompatibel ist. AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S ist eine flexible CMP-Maschine; daher unterstützt es eine Vielzahl von CMP-Prozessen, einschließlich Ätzrücken, chemisch-mechanisches Polieren (CMP), Gas- und chemisches Ätzen und Aschen. Sie kann Wafer bis 200 mm Durchmesser aufnehmen. In Sachen Sicherheit entspricht FUSION Bobcat 209S den CE- und CSA-Sicherheitsstandards. Durch seine zuverlässigen Konstruktions- und Sicherheitsstandards bietet MATRIX Bobcat 209S maximalen Durchsatz und effiziente VDIL-Leistung. Darüber hinaus machen die Kosteneffizienz, die einfache Wartung und die breite Palette an Prozessoptionen es zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene Halbleiterherstellung und CMP-Anwendungen.