Gebraucht AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat #9278672 zu verkaufen

AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat
ID: 9278672
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2004
Asher, 6" 2004 vintage.
AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat ist ein hochleistungsfähiger, fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der in der Lage ist, hochpräzise, komplexe dreidimensionale Merkmale in einer Vielzahl verschiedener Substrate zu erzeugen. FUSION Bobcat verwendet eine Kombination aus fortgeschrittenen ICP-RIE (induktiv gekoppeltes plasmareaktives Ionenätzen) und O3-SE (ozongestütztes Ätzen) Ätzverfahren, um eine präzise, hochauflösende Musterdefinition in Substraten wie Chip, Metall und Verbundwerkstoffen zu erreichen. Das MATRIX Bobcat Ätzsystem besteht aus drei unabhängigen Kammern mit jeweils eigenen Funktionen. Die erste Kammer ist der Beschichtungsroboter, der für die automatische Anbindung des Wafers an die entsprechenden Beschichtungen verantwortlich ist. Die zweite Kammer ist der Ascher, der tiefes UV-Licht verwendet, um das Zielmaterial genau freizulegen. Die dritte Kammer ist der Ätzer, der ICP-RIE oder O3-SE Ätzprozesse nutzt, um das Material präzise zu ätzen. Jede der drei Bobcat-Kammern ist mit einer Vielzahl einstellbarer Parameter ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Ätz- und Ascheprozesse von AXCELIS Bobcat ermöglichen. Diese Parameter reichen von der Leistung der Mikrowellenquelle, der Durchflussrate der Ätz-/Aschegase, der Gaszusammensetzung, der Ätz-/Aschedauer, der an die Elektroden angelegten Spannung und der Plattentemperatur. Jeder Parameter kann unabhängig voneinander eingestellt werden, um höchste Präzision und Qualität für jeden Ätzauftrag zu erreichen. AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat ist auch mit einem fortschrittlichen Datenhandhabungssystem ausgestattet, das es Benutzern ermöglicht, alle ihre Ätz- und Ascheprozesse zu programmieren und zu überwachen. Die Software ermöglicht es Benutzern, Ätzergebnisse zu speichern und zu vergleichen, Parameter zu ändern und Änderungen bei Bedarf vor Ort vorzunehmen. Dieses System stellt sicher, dass der gesamte Ätzprozess wiederholbar und kontrolliert durchgeführt wird. Insgesamt ist FUSION Bobcat einer der fortschrittlichsten Ätzer und Ascher auf dem Markt heute, mit einer Reihe von einstellbaren Funktionen, die es ideal für das Ätzen und Aschen mit hoher Präzision und Qualität machen. MATRIX Bobcat ist perfekt für die Herstellung fortschrittlicher elektronischer Komponenten und Substrate oder für die Erstellung komplexer dreidimensionaler Strukturen für spezialisierte Anwendungen.
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