Gebraucht AXCELIS / FUSION MTL-200A #9083200 zu verkaufen
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AXCELIS/FUSION MTL-200A ist ein fortschrittlicher Plasma Etcher/Asher, der von FUSION Technologies Inc. entworfen und hergestellt wurde und es der Halbleiterindustrie ermöglicht, komplexe, empfindliche Strukturen mit Präzision und Genauigkeit zu verarbeiten. Dieses neueste Modell, FUSION MTL-200A, ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Aschen, Implantation von Dotierstoffen und anderen Waferoberflächenbehandlungen und Modifikationen konzipiert. AXCELIS MTL-200A Plasmaätzer/Ascher verfügt über eine fortschrittliche Multi-Station-Konfiguration für optimierten Einsatz und Flexibilität. MTL-200A können sowohl ein- als auch zweiseitige Waferkonfiguration verarbeiten, sodass mehrere Wafer gleichzeitig verarbeitet werden können, um Effizienz und Durchsatz zu erhöhen. Darüber hinaus verfügt AXCELIS/FUSION MTL-200A über eine fortschrittliche Dual-Mode-Plasmaquelle mit eingebetteten Präzisionswinkelelelektroden zur Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen. Die ausgeklügelte Plasmaquelle ermöglicht ein tiefes, gleichmäßiges Ätzen in sehr empfindlichen Strukturen, ohne die Oberfläche des Wafers zu beschädigen. Das Aschen hingegen arbeitet präzise zwischen den geätzten Merkmalen, wodurch eine saubere Waferoberfläche für die nachfolgende Waferbearbeitung entsteht. Das überlegene Design von FUSION MTL-200A sorgt auch für Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Ätzprozessparametern wie Temperatur, Druck und Gasfluss. Die Plasmaversorgung in Verbindung mit dem Gasfördersystem bietet ein hohes Maß an Kontrolle, um optimale Bedingungen für Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Neben seiner leistungsfähigen Plasmatechnologie ermöglicht das fortschrittliche Softwaresystem von AXCELIS MTL-200A ein hohes Maß an Prozesssteuerung und -verfolgung. Die Software umfasst erweiterte Mapping- und Diagnosefunktionen für die vollständige Prozessüberwachung und -analyse sowie optionale APC/EPC-Funktionen. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, alle Betriebsparameter während der Prozesszyklen zu überwachen, Details zu jedem Ätz-/Ascheprozess zu analysieren und Rezepturparameter für verbesserte Leistung und Ausbeute zu optimieren. Abschließend ist MTL-200A Plasma Etcher/Asher von AXCELIS ein leistungsfähiges und effizientes Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Die fortschrittliche Multi-Station-Konfiguration, die ausgeklügelte Plasmaquelle und das überlegene Softwaresystem sorgen für präzises, wiederholbares und einheitliches Ätzen und Aschen mit überlegener Ausbeute.
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