Gebraucht AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320 #293822275 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320 ist eine spezielle Ätz- und Ascheausrüstung für fortschrittliche Nanofabrikation. Es handelt sich um ein hochpräzises System zum Dünnschichtätzen von Wafern und Substraten. Das Gerät ist in der Lage, sauberes, kontrolliertes Ätzen bereitzustellen, das für die heutigen hochpräzisen Nanofabrikationsprozesse entscheidend ist. FUSION RadiantStrip 320 ist eine Prozesskammer, die ein einzigartiges Design bietet, das die Plasmabelastung minimiert. Es ist so ausgelegt, dass bei hohen Ätzraten niedrige Kammerdrücke erzielt werden. Die Konfiguration der Kammer ermöglicht die Optimierung mehrerer Prozessparameter und liefert zuverlässig qualitativ hochwertige Ätzergebnisse. Die Maschine verwendet ein hochreines Hochdruck-Inertgas als Plasma bildendes Gas und einen Niederdruck-HF-Generator, um Plasma in der Kammer zu erzeugen. Mit dem Plasma wird dann das Substrat geätzt. Das Werkzeug liefert auch einen niedrigen Spannungs- und Energieverbrauch. Darüber hinaus kann AXCELIS RadiantStrip 320 Prozesse mit guter Wiederholbarkeit und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit bereitstellen. Die Anlage liefert Anwendern verschiedene Prozessrezepte, beispielsweise schnelles thermisches Glühen, Polyimidätzen, Siliziumnitridätzen und Ätzen metallischer Dünnschichten. Jedes Rezept kann mit Parametern wie Temperatur, Druck, Leistung und Durchflussraten konfiguriert werden. Es unterstützt auch nicht standardmäßige Prozessrezepte, mit denen Benutzer Prozesse für bestimmte Anwendungen anpassen können. RadiantStrip 320 bietet zudem robuste Sicherheitsfunktionen. Es ist mit einem Zweikammer-Vakuum-basierten Verriegelungsmodell ausgestattet, das eine sichere Arbeitsumgebung gewährleistet. Das Gerät enthält auch eine ESD-Schutzschaltung, die verhindert, dass ESD-Stöße den Ätzprozess beeinflussen. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320 ein fortschrittliches Ätz- und Aschesystem, das in der Lage ist, sauberes und präzises Ätzen und Aschen mit wiederholbaren und einheitlichen Ergebnissen zu ermöglichen. Das Gerät bietet Anwendern ein breites Portfolio an Anwendungen und anpassbaren Rezepten sowie vielseitige Sicherheitsfunktionen, die Arbeitnehmer vor ESD-Stößen schützen. Es ist ideal für hochpräzise Nanofabrikationsverfahren.