Gebraucht AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320ES #293625715 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ES ist eine hpa-Ätz-/Ascheausrüstung, die speziell für fortgeschrittene Musteranwendungen entwickelt wurde. Dieses System mit seiner fortschrittlichen Technologie ist in der Lage, Wafergrößen von 200mm bis 300mm zu handhaben. Es verfügt über zwei unabhängige, leistungsstarke Prozesszellen und zwei unabhängige Lastsperrmodule, um die Lernkurve zu reduzieren und Missverständnisse zu minimieren. FUSION RadiantStrip 320ES bietet sowohl eine hohe Produktivität als auch eine gleichmäßige Höhe. Es verfügt über eine aktualisierte Benutzeroberfläche, die eine hervorragende Kontrolle, detaillierte Prozesseskalationsfähigkeit und intuitive Sichtbarkeit der Betriebstemperatur und der Ereignisse des Geräts bietet. Darüber hinaus unterstützt AXCELIS RadiantStrip 320ES eine Reihe fortschrittlicher Prozesse, darunter tiefenreaktives Ionenätzen, Nanopatterieren und chemisch-mechanisches Polieren. RadiantStrip 320ES Maschine enthält auch eine fortschrittliche Turbomolekularpumpe, die geregelt wird, um eine konstante Kammerdruckumgebung, eine gute Reduzierung der prozessinduzierten CD-Variation für Photomaskendichten und eine Verringerung der Merkmalsverluste für hohe Seitenverhältnisse zu gewährleisten. Seine integrierte Remote-Plasmaquelle bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit mit einer sehr niedrigen Frequenz und wurde entwickelt, um die Prozessdegredation von Hochleistungs-Plasmaquellen in anderen Ätzsystemen zu minimieren. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Einzelwafer-Kühlung, um das thermische Budget zu optimieren und Fehler zu reduzieren. AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320ES verfügt auch über erweiterte Upgradefähigkeit, so dass das Tool angepasst werden kann, um die Bedürfnisse des Kunden zu erfüllen. Es bietet eine Reihe von Optionen, wie zusätzliche Endstation Zellen, kurze etc/Asche Werkzeuge, schmale Spalt Werkzeuge, und zusätzliche Prozessmodule. FUSION RadiantStrip 320ES ist ideal für eine Reihe fortschrittlicher Musteranwendungen, einschließlich fortschrittlicher Speicher- und Geräteentwicklung sowie Dünnschichttransistorherstellung. AXCELIS RadiantStrip 320ES wurde mit hochwertigen Materialien entworfen und ist eine zuverlässige Ressource, die hervorragende Ergebnisse liefert und gleichzeitig Prozesskontinuität und hohe Produktivität bietet. Mit seiner fortschrittlichen Prozesstechnologie und Flexibilität, die es Kunden ermöglicht, ihre Systeme anzupassen, ist RadiantStrip 320ES eine ausgezeichnete Wahl für alle, die ein effizientes und zuverlässiges Ätz-/Aschemodell für ihre Produktionsanforderungen benötigen.