Gebraucht AXCELIS / FUSION Rapidstrip 210 #293632717 zu verkaufen
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ID: 293632717
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Stripper / Asher system, 8"
Chiller
Vacuum pump
Cavity
2006 vintage.
AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für Hochgeschwindigkeits-, präzise Ätz- und Ascheaufgaben. Das Gerät nutzt eine Kombination aus Reaktiv-Ionen-Ätzen (RIE), chemischer Dampfabscheidung (CVD) und nassen Prozessen. FUSION Rapidstrip 210 hat zwei eingebaute Ätzkammern, eine für den Reaktivionenätzprozess, die andere für chemische Dampfabscheidungsprozesse. Die beiden Systeme sind für unterschiedliche Ätz- und Veraschungsanforderungen optimiert. Das Gerät ist in der Lage, Oberflächen bis zu 0,2 μ m Auflösung zu ätzen, so dass sehr genaue Ergebnisse. Es arbeitet mit einem Betriebsdruck von bis zu 0,1 mbar und kann für den Umgang mit fortschrittlichen Materialien wie Silizium, III-V-Materialien und organischen Materialien konfiguriert werden. Darüber hinaus kann AXCELIS Rapidstrip 210 dank seiner fortschrittlichen automatischen Ladefunktionen einen sehr hohen Durchsatz erzielen. Der Inline-Wafer-Kassettenlader ermöglicht eine Zeitersparnis beim Be- und Entladen von Materialien, während die automatisierte Prozesssteuerung den Betrieb vereinfacht und das Risiko menschlicher Fehler reduziert. Das Gerät ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, so dass die Maschine sicher und effizient läuft. Es verfügt über integrierte Sicherheitsregler zur Überwachung von Gas- und Kammerdrücken sowie EMI-Filter zum Schutz vor elektrischen oder magnetischen Störungen. Es hat auch einen umgekehrten Polaritätsschutz gegen Spannungsfehler und einen Notfallprogramm-Stopp, wenn die Maschine auf Fehler stößt. Um seinen Betrieb weiter zu verbessern, ist Rapidstrip 210 benutzerfreundlich gestaltet. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine einfache Navigation durch eine Vielzahl von Aufgaben. Darüber hinaus können Benutzer bestimmte Rezepte auswählen, häufig verwendete Rezepte speichern und darauf zugreifen und vergangene Prozesse überprüfen und sie bei der Einrichtung für die gewünschten Ätz- oder Ascheprozesse unterstützen. Insgesamt ist AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 Ätzer/Ascher ein fortschrittliches Werkzeug für Hochgeschwindigkeits-, präzise Ätz- und Ascheaufgaben. Mit seiner benutzerfreundlichen GUI, einer Vielzahl integrierter Sicherheitsmerkmale, hoher Präzision und hoher Durchsatzleistung ist es für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanforderungen gut geeignet.
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