Gebraucht AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9252297 zu verkaufen
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ID: 9252297
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Stripper / Asher, 12"
Chamber type: DRM
Frequency: 13.56 MHz
Maximum power: 5000 W
Temperature range: 30°C ~ 80°C
Gases:
Ar (754)
C4F8 (43)
O2 (46.8)
O2 (1215)
CF4 (336)
CHF3 (163)
CH2F2 (144)
N2 (300)
CO (500)
2002 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 ist ein Ätzer und Ascher, der in Industrien wie Elektronik, Automobil, Biomedizin und Nanotechnologie eingesetzt wird. Der Ätzer und der Ascher bieten hervorragende Leistung bei der Demontage einer Vielzahl von Substraten, darunter Metalle, Dielektrika und Organik. FUSION RapidStrip 320 bietet unübertroffene Produktivität und eine skalierbare Plattform, mit der Anwender den Durchsatz steigern können, ohne die Qualität zu beeinträchtigen. AXCELIS RapidStrip 320 ist mit einer Vakuumkammer ausgestattet, die eine kontrollierte und kontaminationsfreie Verarbeitungsumgebung für zu verarbeitende Materialien bietet. Es ist in der Lage, große Substratlasten zu handhaben, mit der Fähigkeit, bis zu 200 mm Wafer zu verarbeiten. Die Vakuumkammer wird verwendet, um das Substrat an Ort und Stelle zu halten, während ein Abwassersammler jedes Material auffängt, das während des Ätzvorgangs entfernt wird. Die Kammer ist auch mit einem elektrostatischen Spannfutter (ESC) ausgestattet, das für die In-situ-Elektrodenversorgung verantwortlich ist. Der ESC beseitigt auch jede Chance, dass sich das Material während der Verarbeitung bewegt, was die Genauigkeit und den Durchsatz weiter erhöht. RapidStrip 320 bietet eine breite Palette von Ätzfunktionen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf: tiefes Silizium-basiertes Ätzen, selektives Entfernen von dicken oder sehr dünnen Materialschichten und optimiertes Ätzen von alternierenden Metallschichten. Die patentierte Kaltplasma-Technologie reduziert Substratschäden und sorgt für gleichmäßiges Ätzen durch verbesserte Ionenenergieverteilung. Mit dem Ascher von AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 wird eine gleichmäßige Abscheidung von Photolack für die Materialstrukturierung erreicht. Dies ermöglicht es Benutzern, eine feine Strukturierung für Speicher- und Prozessorpakete zu erreichen. Der Asher verfügt über eine benutzerfreundliche GUI, mit der Benutzer Rezepte und Programmsubstratübertragungen festlegen können. FUSION RapidStrip 320 bietet überlegene Leistung sowohl beim Ätzen als auch beim Auswerten. Es kann schnell und präzise eine breite Palette von Materialien zerlegen, Fotolack zur Strukturierung ablegen und Prozesse durchführen, die eine präzise Kontrolle erfordern. Mit seinem effizienten Vakuumsystem, großen Substratlasten und der patentierten Kaltplasma-Technologie ist AXCELIS RapidStrip 320 eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für eine Reihe von Branchen.
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