Gebraucht AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9298289 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das für hohe Selektivität, variable Temperatur und Druck sowie schnelle Prozessraten entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, wie Silizium, Verbundsysteme und GaAs. Dieses Tool bietet eine breite Palette von Hochvakuum-Ätzraten, einschließlich flacher Ätzungen (< 10 nm), Submikron und tiefer Ätzungen (< 20 µm). Seine präzise Prozesssteuerung ermöglicht es dem Anwender, sehr wiederholbare Ätzprofile zu erzielen. Das Werkzeug verwendet eine einzigartige Prozesskammergeometrie, um mehrphasige Bearbeitungsfunktionen zu erreichen. Dies ermöglicht das gleichzeitige Ätzen mehrerer Substrate und die gleichmäßige Entwicklung komplexer Prozeßprofile. Die Kammer bietet auch niedrige Magnetfelder während der gesamten Verarbeitung, wodurch ein saubereres und zuverlässigeres Verfahren ermöglicht wird. FUSION RapidStrip 320 verfügt über unabhängige Prozesskammern (vorne und hinten) mit variablen Temperaturen und Druckeinstellungen, wodurch der Benutzer die volle Kontrolle über den Ätzprozess erhält. Dieses Werkzeug weist auch eine Abscheideöffnung zur Dickenüberwachung bzw. Abscheidung eines Opfermaterials auf. Die Kammer bietet auch volle Konnektivität zu anderen AXCELISelementen wie Fernmonitoren, Echtzeit-Prozessdatenprotokollierung und Prozessrezepte für wiederholbare und zuverlässige Ätzprozesse. Die schnelle Lithographie des AXCELIS RapidStrip 320 ermöglicht schnelles und präzises Drucken von Mustern mit einem Durchsatz von bis zu 4 Wafern pro Minute und einer Auflösung von bis zu 10nm. Es bietet auch eine erweiterte Ätzprozessintegration mit Prozesssteuerung über Echtzeitüberwachung und vollständige Wafer-Prozessrezepte zur präzisen Steuerung von Prozessendpunkten und Wiederholbarkeit. RapidStrip 320 ist ein beispielhaftes Gerät, das eine benutzerfreundliche Bedienung mit modernster Prozesssteuerungs- und Überwachungstechnologie ermöglicht und wiederholbare und robuste Ätzprozesse ermöglicht. Diese Kombination von Funktionen macht es zu einem der leistungsstärksten und fortschrittlichsten Ätzer/Ascher auf dem Markt.