Gebraucht AXCELIS / FUSION Rapidstrip #293632719 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION Rapidstrip ist ein Ätzer und Ascher, der speziell für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um branchenführende Ätzraten und überlegene Oberflächenplanarität zu einem wettbewerbsfähigen Preis bereitzustellen. Diese Ausrüstung ist so gebaut, dass sie sowohl 200 als auch 300mm Wafer mit höchster Genauigkeit und Präzision verarbeitet. Die Ätz-/Aschekammer ist für echte Parallelplatten-Ätzfähigkeiten ausgelegt, was eine verbesserte Flexibilität und Prozesskontrolle ermöglicht. Die Kammer wird von einer Hochdruckturbomolekularpumpe angetrieben, die mit einem außergewöhnlichen Basisdruck von 5 × 10-7 Pa und einer Pumpgeschwindigkeit von bis zu 20 Litern/Sekunde arbeiten kann. Die Prozessgasventilkonstruktion umfasst sechs unabhängig voneinander kombinierte Gasausgänge bei einem maximalen Gasfluss von 85 Standard-Litern/Minute. In Bezug auf die Prozesssteuerung verfügt FUSION Rapidstrip über einen einstellbaren Leistungsregelungsbereich von 0-550W mit einer maximalen Ätzrate von 5A/min, plus Rezeptdateien sind in der Lage, bis zu 32K-Faktoren im Speicher zu speichern. Das Gleichmäßigkeitsprofil über den Wafer ist innerhalb von 3% Abweichung flach, mit einer Gesamtdicke Gleichmäßigkeit von 4-7%. Die Materialien Platte, Fokusring und Zünder sind alle aus Edelstahl gebaut, so dass die Ätzer und Ascher sehr langlebig und zuverlässig. Das Gerät verfügt zudem über ein eingebautes Kühl-/Reinigungssystem für optimale Leistung, mit einer Stickstoff/Sauerstoff-Fähigkeit zum Umweltschutz. AXCELIS Rapidstrip ist mit einer breiten Palette von organischen, anorganischen und metallhaltigen Materialien, verschiedenen Substraten und einer Vielzahl von Größen kompatibel. Es ermöglicht auch das Ätzen der tiefsten Gräben und der kleinsten Vias und erfüllt die höchsten Qualitätsstandards, die in der Halbleiterindustrie akzeptiert werden. Zusammenfassend ist Rapidstrip ein extrem leistungsfähiger und zuverlässiger Ätzer und Ascher, der die komplexesten Anforderungen von Halbleiterkunden erfüllen kann.