Gebraucht AXCELIS / FUSION WSI #9083198 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION WSI ist eine Ätz-/Aschemaschine, die zum Ätzen und Aschen von integrierten Schaltungen (ICs) auf Wafer-Ebene mit bis zu 300 mm entwickelt wurde. Es bietet eine Reihe von Funktionen, um eine schnelle Waferbearbeitung zu ermöglichen, einschließlich Mehrprozess-, Mehrkammer- und Rezept-Verarbeitungsfähigkeit. FUSION WSI-System besteht aus zwei Hauptelementen: dem Ätzreaktor und dem Ascher. Der Ätzreaktor liefert sowohl induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) als auch radikalisches Plasma, um integrierte Schaltungsmuster in die Waferoberfläche zu ätzen. Der ICP-Ätzprozess führt zu sehr niedrigen Selektivitätsverhältnissen, wodurch scharfe, hochauflösende Muster erzeugt werden können. Das ICP dient auch zur Absperrung von Wandanwendungen in mehreren Schichten und großflächig. Mit dem Ascher können sowohl Ascheprozesse auf Fluorbasis als auch Ascheprozesse auf Metallbasis eingesetzt werden. Dadurch kann ein breites Spektrum unterschiedlicher Dotierstoffe, deren Konzentrationen und Oxide genau auf die ICs aufgesetzt werden, wodurch die gewünschten elektrischen Eigenschaften erreicht werden können. AXCELIS WSI-Einheit ermöglicht eine zeitsparende Multi-Wafer-Batch-Verarbeitung. Es hat die Fähigkeit, bis zu sechs Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, was eine hohe Durchsatzproduktion ermöglicht. Die Maschine verfügt zudem über eine intuitive Benutzeroberfläche, die das Einrichten der Maschine vereinfacht. Automatisierungssoftware stellt sicher, dass das Werkzeug wiederholbare Ergebnisse erzielt, und der Benutzer kann die Parameter des Prozesses für jede Schicht einstellen, um ihr gewünschtes Endprodukt zu erreichen. Das Asset bietet auch Flexibilität beim Rezept-Management, so dass der Benutzer Rezepte für verschiedene Prozesse speichern und abrufen kann. Dies erleichtert die Replikation von Ergebnissen über mehrere Laufwerke und gewährleistet eine konsistente Leistung zwischen den Batches. Das WSI-Modell bietet zudem hervorragende Sicherheitsmerkmale, darunter ein eigenständiges HF-Gehäuse, das das Personal vom Prozessbereich fernhält. Die Ausrüstung ist auch so konzipiert, dass sie mit minimaler Wartung läuft und eine hohe Zuverlässigkeit und lange Systemlebensdauer gewährleistet. Insgesamt liefert die AXCELIS/FUSION WSI-Einheit hochgenaue und zuverlässige Ergebnisse zum Ätzen und Aschen von integrierten Wafer-Schaltungen. Es ist eine sehr vielseitige und zuverlässige Maschine, die dem Anwender schnelle Rüstzeiten, hohen Durchsatz, wiederholbare Ergebnisse und präzise Kontrolle über den Prozess bietet.