Gebraucht AXCELIS / FUSION WSI #9087726 zu verkaufen

AXCELIS/FUSION WSI ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um die Notwendigkeit manueller Ätzprozesse und luftgestützter Ätz-/Aschesysteme zu beseitigen. Das FUSION WSI-System verwendet eine Kombination aus einem tiefen UV-Laser, Hochleistungs-Hochfrequenzquellen und einer kombinierten Gas- und Chemikalienliefereinheit. Die Maschine verfügt außerdem über ein automatisiertes Kammerwaschgerät für eine kostengünstige Möglichkeit, die Kammer nach jedem Ätz- oder Aschetakt schnell und zuverlässig zu reinigen. Diese integrierte Anlage bietet einen hohen Durchsatz, hohe Gleichmäßigkeit, Prozesslösung in der Lage, verschiedene Dünnschichtgrößen und Formen zu erreichen. Das Modell ist in der Lage, präzise Muster auf einer breiten Palette von Materialien zu produzieren, einschließlich GaAs, Silizium, Polysilizium, SiGe und Nitrid. AXCELIS WSI-Geräte werden von einer breiten Palette von Materialien angetrieben, einschließlich Gas-, Flüssigkeits- und Plasmaquellen. Das System ist in der Lage, präzise und wiederholbare Prozessrezepte zu liefern und bietet dem Benutzer auch mehr Flexibilität bei der Programmierung der Ätz- und Ascherezepte. Die Hochleistungs-Hochfrequenzquellen dienen zur präzisen Plasmaätzung von GaAs, SiGe und Nitridmaterialien. Der tiefe UV (DUV) -Laser wird verwendet, um Ätzrezepte effizient zu entwickeln, indem es ermöglicht, schwierige Materialien wie Polysilizium und GaAs effektiv zu mustern und zu ätzen. WSI-Einheit verfügt auch über eine automatisierte Zuführmaschine, die es dem Anwender ermöglicht, Wafer präzise in das Werkzeug einzuspeisen. Das Zubringervorrichtung verfügt über eine integrierte Antistatik, die Ungleichmäßigkeit und Kontamination verhindert. AXCELIS/FUSION WSI Modell ist mit Prozesssteuerung ausgestattet, die hohe Präzision für eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen bietet. Das Gerät ermöglicht es dem Benutzer auch, schnell und effektiv zwischen den Rezepten einzuschalten und hochzufahren. Die heruntergefahrene und hochgefahrene Fähigkeit verhindert plötzliche Änderungen in Prozessrezepten, die schädliche Ergebnisse verursachen können. Abschließend ist das FUSION WSI-System ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der für präzise Ätzungen auf einer breiten Palette von Materialien entwickelt wurde. Mit der automatisierten Zuführeinheit, der integrierten Antistatik und der Prozesssteuerung ist die Maschine in der Lage, wiederholbare Ätzrezepte mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit zu liefern. Es bietet eine kostengünstige und effiziente Möglichkeit, Materialien mit minimalem Zeitaufwand genau zu ätzen und zu aschen.