Gebraucht AXCELIS Integra #9389490 zu verkaufen

AXCELIS Integra ist eine fortschrittliche Trockenätzausrüstung, die zur Bereitstellung von Ätzverarbeitungsfähigkeiten für großflächige Verbund- und Einkristall-Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es ist in der Lage, das Ätzen entweder mit herkömmlicher chemischer Dampfabscheidung (CVD) oder Plasmaabscheidung durchzuführen. Das Integra-System ermöglicht es Benutzern, mehrere Schichten nacheinander zu ätzen, was ein hochauflösendes Ätzen über eine breite Palette von funktionellen Materialien ermöglicht. Das Gerät verwendet ein innovatives Design, das in Optik und Photonik technisches Handbuch, 2. Auflage detailliert ist. Die Maschine besteht aus zwei Teilen: einer Kammer und einer Stromquelle. Die Kammer enthält eine Hochvakuumumgebung, die zur Ätzbearbeitung dient und zur Vermeidung von Umgebungskontaminationen mit einer verstellbaren Verschlusstür ausgestattet ist. Die Stromquelle besteht aus einem Gleichstromwechselrichter und einer AC/DC-Batterie, die beide bis zu 7 kV Leistung liefern können. Das Tool ermöglicht es Benutzern, die Ätzrate durch die Steuerung der Stromquelle anzupassen, was eine hohe Prozesseffizienz und Flexibilität ermöglicht. AXCELIS Integra wird von den neuesten Lithographie- und Ätzsubsystemen angetrieben, was zu einer integrierten Lösung führt, die unübertroffene Leistung und zuverlässige Ätzergebnisse liefert. Das Asset ist in der Lage, Schichten so dünn wie 20 nm zu ätzen, mit einer Prozesstiefenkonsistenz von besser als 2 Prozent. Das Ätzverfahren hat eine breite Palette von kompatiblen Materialien, darunter Kupfer, Galliumnitrid, Aluminiumnitrid und silizidiertes Polysilizium. Es stehen eine Reihe von Ätzmodi zur Verfügung, mit denen Benutzer den Ätzprozess feinabstimmen können, um Auflösung, Ertrag und andere Prozessparameter zu optimieren. Integra-Modell verfügt auch über verbesserte Sicherheitsfunktionen, wie die aktive Gasüberwachungsausrüstung, automatischer Notstopp und Übertemperaturalarm. Diese Sicherheitssysteme gewährleisten einen ausreichenden Schutz der Anwender vor gefährlichen Prozessen und Materialien. Darüber hinaus ist das System NRTL-konform, d.h. es erfüllt die Anforderungen der National Fire Protection Association und UL. AXCELIS Integra ist eine ideale Ätzlösung für jede Halbleiteranwendung, die ein zuverlässiges Ätzen mit präziser Steuerung des Ätzprozesses erfordert. Mit seinem innovativen Design, den einstellbaren Ätzraten, der großen Auswahl an kompatiblen Materialien und den verbesserten Sicherheitsmerkmalen ist Integra eine gute Wahl für jede Ätz- oder Verarbeitungsaufgabe.