Gebraucht AXIC HF-8 #9124396 zu verkaufen

AXIC HF-8 ist ein Ätzer und Ascher für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Die Vorrichtung eignet sich für Anwendungen wie Plasmaätzen, Oxidation, Dotierungsdiffusion und Materialflächenätzen. Es verfügt über eine 5-Zone thermische Massenstromregelung, einen In-situ-Ozon-Monitor und eine integrierte Schnittstelle. Die wärmeisolierte Ätzkammer ist aus Edelstahl gefertigt und zur Vermeidung von Verunreinigungen in sich geschlossen. Die Kammer ist mit einer Diamantplasmaquelle ausgestattet, um eine maximale Lichtbogenstabilität und eine gleichmäßige Plasmaverteilung zu gewährleisten. Eine automatisierte Quarzladekammer ist ebenfalls enthalten und ermöglicht einen kontrollierten Ein- und Austritt von Substraten. AXIC HF8 bietet eine breite Palette von Prozessparametern, darunter thermische schnelle Gleichmäßigkeit und einheitliche Prozesstiefe. Diese Parameter können je nach gewünschter Anwendung auf beste Ergebnisse eingestellt werden, um eine Wiederholbarkeit und erhöhte Prozessausbeuten zu gewährleisten. Der In-situ-Ozon-Monitor ermöglicht eine automatisierte Steuerung der Dosierung und Entfernung von Ozon, um die optimale Prozessumgebung zu erhalten. Das Gerät verfügt über eine integrierte Schnittstelle, die eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche bietet, mit der Bediener Prozessparameter präzise anpassen können. Eine Vielzahl von Rezeptspeicherfunktionen und Datenerfassungsfunktionen sind ebenfalls enthalten. HF-8 System kann zur komfortablen Datenübertragung an einen Remote-Computer angeschlossen werden und ermöglicht die Überwachung und Analyse von Prozessparametern. HF8 ist ein vielseitiges System, das in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden kann, einschließlich Halbleiter-, Solar- und Medizinprodukteherstellung. Seine Größe und sein effizientes Design machen es aufgrund der geringen Ausgasungsemissionen für Reinraumumgebungen geeignet. Die automatisierte Bedienung und die integrierte Schnittstelle des Systems sorgen für Wiederholbarkeit, Genauigkeit und zuverlässige Prozessergebnisse.