Gebraucht AXIC Multimode HF-8 #60542 zu verkaufen

Hersteller
AXIC
Modell
Multimode HF-8
ID: 60542
Plasma processing systems For anisotropic and / or isotropic etch System 110 V, 60 Hz, 15 Amps 220 V, 50/60 Hz, 7 Amps Pump 110V, 60Hz, l0Amps or 220 V, 50/60 Hz, 6 Amps H2O For Electrode Cooling [Electrode Dependent] Air For Valve Operation N2 For Chamber Vent Gas Process Gasses.
AXIC Multimode HF-8 ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher für den Einsatz in verschiedenen Forschungs- und Ingenieuranwendungen. Es ist für das Ätzen, Aschen und Lithographie auf Wafern bis zu 8 Zoll Durchmesser ausgelegt. Das Gerät bietet einen hohen Durchsatz bei guter Prozessqualität und Zuverlässigkeit und ist somit ideal für Industrie- und Forschungsanwendungen. Die Anlage basiert auf einer reaktiven Ionenätztechnologie (RIE) und verfügt über eine Vakuumkammer sowie eine Reihe von Zusatzkomponenten. Sein Basissystem besteht aus einer Vakuumkammer, einem HF-Stromgenerator, einer Steuereinheit und einer Ätz-/Diffusorquelle. Die Standardprobengröße beträgt 150x150x0,25 mm und das Gerät ist mit den meisten Arten von Kunststoff-, Metall- und Quarzsubstraten kompatibel. Zusätzlich kann es geätzt und Ascher Substrate mit kleinen Merkmalsgrößen von bis zu 1 Mikron. Die Hauptkomponenten von Multimode HF-8 umfassen verschiedene Arten von Plasmaquellen, wie induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), reaktives Ionenätzen (RIE) und Laserablationsquellen. Diese Quellen bieten eine Reihe von Ätz- und Diffusionsprozessen, um kundenspezifische Prozesse für verschiedene Anwendungen zu ermöglichen. Mögliche Operationen mit AXIC Multimode HF-8 umfassen das Ätzen von Strukturen, die Lithographie der oberen und mittleren Schicht, die Diffusion und die Ionenimplantation. Das Gerät verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Übertemperaturschutz und Gaslecksuche. Es ist auch mit einer computergesteuerten Steuerungsmaschine ausgestattet, die eine automatische und feinabgesteuerte Prozesssteuerung ermöglicht. Das Softwarepaket ermöglicht eine individuelle Anpassung der Ätz- und Lithographie-Rezepte und bietet so eine höhere Prozessflexibilität. Multimode HF-8 bietet ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug zum Ätzen, Aschen und Lithographie. Mit seinen fortschrittlichen Plasmaquellen, dem zuverlässigen Kontrollwerkzeug und einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen bietet es eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung bei guter Prozessqualität. Es eignet sich für Industrie- und Forschungsanwendungen und ist damit einer der besten Radierer und Ascher auf dem Markt.
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