Gebraucht AXIC Multimode HF-8 #9171691 zu verkaufen
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ID: 9171691
RIE Plasma processor
With water cooled parallel electrodes
ADVANCED ENERGY RFX-600 Power supply
Automatic RF matching
(3) MFC's for gas control
Process controller for multi-step processing
13.56 MHz, 600 W.
AXIC Multimode HF-8 ist ein moderner Ätzer/Ascher für Anwendungen in der Hochfrequenzschaltungsherstellung. Das HF-8 bietet schnelle, einheitliche Ätz- und Aschezeiten für selbst komplexeste Mikrofertigungsprozesse. Das Gerät nutzt ein 550W hochfrequentes induktives Quellensystem und verarbeitet Substrate bis 8 "Durchmesser. Die induktive Quellen- und Kammerkonstruktion sorgt für eine verbesserte Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Das HF-8 verfügt zudem über eine digitale Engine, die zeitbasierte, genaue Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Der Digitalmotor verfügt über eine programmierbare Temperaturregeleinheit zur genauen Temperaturregelung auf innerhalb ± 2 ° C Sollwerte. Dies ermöglicht konsistente Ergebnisse mit unterschiedlichen Prozessrezepten und gewährleistet eine zuverlässige Geräteleistung. Die Maschine sorgt auch für die Kommunikation zwischen dem Ätzer/Ascher und Rezept-Management-Software, so dass eine einfache Anpassung und Auswahl der Prozessrezepte. Das HF-8 ist mit einem RVF-Gasförderwerkzeug zur effizienten Abgabe von Ätz- und Aschgasen sowie DI/UPW-Kammern für ultrareine Vorprodukte und Produktentfernung ausgestattet. Auch das N2-Trägergas wird vollständig von der Prozesskammer isoliert, wodurch eine externe Trägergaszufuhr entfällt. Das Asset umfasst eine vollständig computergestützte Touchscreen-Schnittstelle zur Überwachung und Anzeige von Prozessdaten. Die mitgelieferte grafische Software ermöglicht es dem Benutzer, Ätz-/Ascherezepte visuell zu überwachen und zu steuern. Der Echtzeit-Prozessmonitor ermöglicht die Aufzeichnung und Protokollierung von Anwendungen und Rezepten, wodurch verschiedene Prozessergebnisse einfach analysiert und verglichen werden können. Multimode HF-8 ist ein ideales Modell für die präzise Hochfrequenzschaltungsherstellung und bietet eine verbesserte Prozesssteuerung, einheitliche Ergebnisse und eine größere Flexibilität als herkömmliche Ätz- und Ascheprozesse.
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