Gebraucht BAL-TEC BAF060 #9247281 zu verkaufen

BAL-TEC BAF060 ist ein Ätzer/Ascher für Präzisionsätzen und Aschen in der Halbleiterindustrie. Es bietet eine hohe Ätzrate, Gleichmäßigkeit und Selektivität mit größeren Waferbereichen. Diese Maschine ist in der Lage, bis zu 3 Mikrometer oder weniger Ätzselektivität für die anspruchsvollsten Prozessanforderungen bereitzustellen und ermöglicht die Herstellung fortschrittlicher Architekturen für die fortschrittlichsten Halbleiterprodukte. BAF060 hat ein dreiachsiges Bewegungsdesign, das Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Jede Achse fährt bis zu 1,5 Meter und wird von hochpräzisen Linearantriebsmotoren angetrieben, die eine sehr kurze Taktzeit ermöglichen. Das Gerät ist mit einem mehrstufigen Überwachungssystem ausgestattet, das die gesamte Einheit überwacht und den Ätz-/Ascheprozess steuert. BAL-TEC BAF060 verfügt außerdem über einen integrierten Computer, in dem Rezept- und Rezeptinformationen gespeichert werden, sodass der Ätz-/Ascheprozess auf spezifische Anforderungen zugeschnitten werden kann. Dies ist besonders vorteilhaft bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterstrukturen wie der Photovoltaik- und MEMS-Industrie. Der eingebaute Computer fungiert auch als „Echtzeit“ -Zentrale und überwacht die Maschine ständig, um sicherzustellen, dass der Prozess korrekt abläuft. BAF060 ist mit einer Vielzahl von Prozessgasen ausgestattet, die der Ätzkammer zugeführt werden können, um die gesamte Palette von Prozessgasen für genaues Ätzen und Aschen bereitzustellen. Die Abgase werden in einem Werkzeug mit geschlossenem Kreislauf zugeführt, das einen gleichmäßigen Fluss von Prozessgasen und einer unberührten Umgebung in der Ätzkammer gewährleistet. Dies ermöglicht BAL-TEC- BAF060 optimale Ergebnisse sowohl in Einzelätz- als auch in Ascheprozessen. Der Prozess für die BAF060 ist außerordentlich benutzerfreundlich und ermöglicht eine Automatisierung und Überwachung durch den Benutzer. Der Benutzer kann den gesamten Prozess Schritt für Schritt überwachen und bei Bedarf dem Asset manuelle Befehle geben. Dies ermöglicht eine schnelle Kalibrierung, Diagnose und Optimierung des Prozesses. Insgesamt ist BAL-TEC BAF060 ein hochentwickeltes und zuverlässiges Werkzeug für Präzisionsätz- und Ascheprozesse. Es bietet eine einheitliche Ätzrate, Wiederholbarkeit und Selektivität und eignet sich für großflächige Halbleiterstrukturen. Darüber hinaus machen ein benutzerfreundlicher Prozess und zahlreiche operative Vorteile BAF060 zu einem unschätzbaren Asset in der Halbleiterindustrie.