Gebraucht BAL-TEC RES010 #171772 zu verkaufen

BAL-TEC RES-010 ist ein Präzisionsbankätz-/Aschesystem für die mittelgroße bis große Substratverarbeitung. Es ist ideal für die Erforschung und Entwicklung von Prozessen wie Ätzen von elektrooptischen Kristallen und Glas, Dünnschichtätzchemie, MEMS-Geräteätzen und Halbleiteraschen und -strippen. Das System besteht aus fünf Hauptkomponenten; eine Haupteinheit, eine Stromversorgung, eine Sitzbank, eine Prozesskammer und eine Kühlmittelversorgung. Die Haupteinheit beherbergt die Prozesskammer und besteht aus einer oberen und unteren Kammer zur Versorgung einer Lichtquelle für eine Ätzmaske. Die Stromversorgung und die Sitzbank sind mit einem digitalen Display zur einfachen Einstellung der Ätzparameter ausgestattet. Die Prozesskammer ist so konzipiert, dass sie sowohl vertikalen als auch seitlichen Strömungs- oder Medieneinlass und -auslass ermöglicht, was den Prozess vielseitig und effizient macht. Die integrierte Kühlmittelversorgung sorgt für optimale und stabile Prozesstemperaturen, während die vollständig geschlossene Wärmedämmung die Temperatur der Kammer während des Bearbeitungszyklus stabil hält. Dadurch wird sichergestellt, dass das Substrat bei einer wesentlich höheren Temperatur als die umgebende Umgebung bearbeitet wird und auch Submikron-Merkmalsgrößen erzielen kann. BAL-TEC RES-010 verfügt über eine Reihe von prozessspezifischen Rezepten, die schnell und einfach gespeichert und zurückgerufen werden können, wodurch es einfach ist, jedes Rezept anzupassen und die vollständige Kontrolle über den Prozess zu haben. Darüber hinaus verfügt es über einen vollautomatischen Quarzkristallmonitor, mit dem Benutzer den Ätzfortschritt verfolgen und gleichzeitig sicherstellen können, dass die Ätzung ordnungsgemäß abläuft. Der Ätzer ist mit einer Turbomolekularpumpe ausgestattet, die eine optimale Gleichmäßigkeit über einen breiten Ätzbereich ermöglicht. BAL-TEC RES-010 bietet hervorragende Ätzgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit und ist damit ein ideales Werkzeug für mittelgroße bis große Prozesse. Damit eignet es sich für Branchen von Halbleiter- bis Mikroelektronik-Bauelementen, die jedes Mal zuverlässige Ergebnisse liefern. Zudem garantiert das System Sicherheit mit seinen PEEK-verstärkten Wänden und einer hervorragenden Wärmedämmung für einen optimalen Schutz vor unbeabsichtigtem thermischen Schock und Belastung.