Gebraucht BALZERS BAF 400 #9016405 zu verkaufen

BALZERS BAF 400 ist ein Hochleistungs-Plasma-Ascher-System von BALZERS. Speziell für die Forschung und Prozessintegration entwickelt, ist es in der Lage, reaktives Ionenätzen (RIE) sowie Aschen und Reinigen von dicken und dünnen Schichten auf einer Vielzahl von Substraten. Das System nutzt eine proprietäre induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) und ist in der Lage, eine Reihe von Prozessen einschließlich, O2, SF6, CF4 und Ar Plasmaätzen. Die ICP-Quelle verfügt über eine verbesserte Stabilität und Prozessflexibilität, die eine präzisere Kontrolle der Prozessparameter bietet, was zu überlegenen Reinigungs- und Ätzergebnissen führt. Die Komponenten, aus denen BAF 400 besteht, sind vollständig integriert und so konzipiert, dass sie zusammenarbeiten und Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Das System ist mit einem Regler zur Parameterregelung und einer Vakuumsperre ausgestattet, die das Plasma automatisch abschaltet, wenn der Kammerdruck eine bestimmte Grenze überschreitet. Darüber hinaus verfügt BALZERS BAF 400 über eine Hochtemperaturätzfunktion, die ein Ätzen von Materialien bei Temperaturen bis 185 ° C ermöglicht. Während des Ätzvorgangs können mehrere Prozessparameter wie Druck, HF-Leistung und Gasdurchfluss eingestellt werden. Die Kammer ist mit einem Ein- und Auslass für das Gasmanagement ausgestattet, der eine schnelle, gleichmäßige Dosierung von Prozessgasen ermöglicht. Die Kammer kann auch an eine externe Vakuumpumpe zur effizienten Abgabe von Reaktivgasen angeschlossen sein. BAF 400 ist auch mit einer beheizten Duschplatte mit Temperaturbereichen zwischen -20 und + 100 ° C für eine sichere und zuverlässige Verarbeitung ausgestattet. Eine konforme Beschichtung ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung auf Proben. BALZERS BAF 400 ist mit seinen präzisen Steuerungsparametern und seinen vielseitigen Merkmalen eine hervorragende Ätzlösung für F&E- und Prozessintegrationsanwendungen. Seine Zuverlässigkeit und hohe Ätzqualität machen es zu einer wertvollen Ergänzung zu jedem Labor oder Produktionsumfeld.