Gebraucht BALZERS / INFICON LFC 150 #9279137 zu verkaufen

BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150 ist ein Ätzer oder Ascher, der für den präzisen und ultraschnellen Wolfram-Ätz- und Schwermetallveraschungsprozess auf großen und kleinen Substratflächen entwickelt wurde. Es ist eines der fortschrittlichsten Ätzsysteme auf dem heutigen Markt und ist ein sehr zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug, das für den Einsatz in fortschrittlichen Mikrofabrikationstechniken wie IC-Fertigung, MEMS und Halbleiteranwendungen integriert wurde. Der Ätzer besteht aus einer leistungsstarken CO2-Laserausrüstung und einem präzisen zweiten harmonischen Resonator, der die höchste Ätzgenauigkeit bei minimalem thermischen Abbau bietet. BALZERS LFC 150 ist mit zwei unabhängigen Laserstrahlen und einer hochpräzisen mehrachsigen Stufe ausgestattet, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses bietet. Beide Laser können so programmiert werden, dass sie den gleichen Ätzzyklus gleichzeitig durchführen, die Produktivität erhöhen und eine präzisere Ätzung mit weniger Zeit und Aufwand ermöglichen. Die Stufe verfügt außerdem über ein Temperaturregelsystem, das sicherstellt, dass die Arbeitstemperatur zwischen 0-30 ° C gehalten wird, und eine Vakuumeinheit mit einem Basisdruck von 40 mbar. Die Vakuummaschine ist so ausgelegt, dass eine Verunreinigung aus der Prozesskammer rasch vermieden wird, was zu hohen Ätzausbeuten und Langzeitgenauigkeit führt. Das Tool enthält auch eine Steuerungssoftware und eine PC-Schnittstelle, mit der der Ätzprozess einfach programmiert und überwacht werden kann. Dies ermöglicht keine Unterbrechung des Ätzprozesses, und alle Parameter wie Laserburst ein/aus, Laserintensität, Ätzprofil und Ätzbereich können sofort geändert werden. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine Reihe von spezialisierten Detektoren, um den Ätzprozess kontinuierlich zu überwachen und höchste Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. INFICON LFC 150 ist ein ideales Werkzeug für verschiedene fortgeschrittene Mikrofabrikationsanwendungen, wie High-End-Geräte, MEMS und IC-Fertigung. Seine Präzisionsätz- und überlegenen Aschefunktionen sowie seine hohe Automatisierung bieten ein effizientes, benutzerfreundliches Ätzwerkzeug mit zuverlässigen Ergebnissen.