Gebraucht BALZERS / UCP LFC 150 #293799927 zu verkaufen

BALZERS/UCP LFC 150 ist eine spezialisierte Ätz-/Aschemaschine, die in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie für Plasmareinigungs-, Ätz- und Oberflächenmodifizierungsprozesse eingesetzt wird. Diese fortschrittliche Ausrüstung wurde entwickelt, um leistungsstarke Ergebnisse mit außergewöhnlicher Präzision und Zuverlässigkeit zu liefern. UCP LFC 150 verfügt über eine hochmoderne Vakuumkammer, die eine für die Plasmaerzeugung förderliche Niederdruckumgebung schafft. Das System ist mit einer Hochfrequenz-Hochfrequenz-Stromquelle ausgestattet, die Prozessgase ionisiert und ein Plasma erzeugt, das verwendet werden kann, um Substrate mit hoher Gleichförmigkeit und Wiederholbarkeit zu reinigen oder zu ätzen. Eine der Schlüsselkomponenten von BALZERS LFC 150 ist die Gasfördereinheit, die eine präzise Steuerung von Prozessgasen und deren Durchflussraten ermöglicht. Diese Maschine ermöglicht es Anwendern, die im Plasma auftretenden chemischen Reaktionen auf spezifische Ätzraten, Selektivität und Oberflächeneigenschaften abzustimmen. Das Gasförderwerkzeug ist mit Massendurchflussreglern (MFCs) ausgestattet, die während des gesamten Prozesses einen genauen und stabilen Gasfluss gewährleisten. Die Anlage umfasst auch eine Lastschloßkammer zur Übertragung von Substraten in und aus der Hauptverarbeitungskammer, ohne Vakuum zu brechen. Diese Funktion minimiert Verschmutzungen und verbessert die Wiederholbarkeit des Prozesses durch Aufrechterhaltung einer sauberen Verarbeitungsumgebung. Die Lastschloßkammer ist mit einem Roboterarm oder Kassettenmodell für die automatisierte Substrathandhabung ausgestattet, was die Produktivität und den Durchsatz der Ausrüstung weiter verbessert. Bei der Plasmaerzeugung nutzt LFC 150 eine Dual-Frequenz-Plasmaquelle für eine verbesserte Prozessflexibilität. Die Kombination aus niederfrequenter (LF) und hochfrequenter (HF) Leistungserregung ermöglicht die Kontrolle der Plasmadichte und Energieverteilung und ermöglicht eine breite Palette von Prozessfähigkeiten wie Asche, Abstieg, isotropes Ätzen und Oberflächenmodifizierung. Die Dual-Frequenz-Plasmaquelle trägt auch dazu bei, dass das System verschiedene Arten von Substraten und Materialien mit unterschiedlichen Eigenschaften verarbeiten kann. Um den Ätz-/Ascheprozess zu überwachen und zu steuern, ist BALZERS/UCP LFC 150 mit fortschrittlichen Prozessüberwachungs- und Automatisierungsfunktionen ausgestattet. Echtzeit-Endpunktdetektion, optische Emissionsspektroskopie (OES) und Massenspektrometrie sind einige der in das Gerät integrierten Diagnosewerkzeuge zur Prozessoptimierung und Fehlererkennung. Zusätzlich kann die Maschine mit einer computergestützten Prozesssteuerungssoftware zur Rezepturverwaltung, Datenprotokollierung und Fernbedienung verbunden werden. UCP LFC 150 ist mit benutzerfreundlichen Funktionen für einfache Bedienung und Wartung konzipiert. Das Tool umfasst eine Benutzeroberfläche mit intuitiven Bedienelementen und grafischer Anzeige zur Überwachung von Prozessparametern und Asset-Status. Wartungsaufgaben wie Kammerreinigung, Elektrodenaustausch und Modellkalibrierung werden mit einfachem Zugriff auf kritische Komponenten und Serviceports einfach gestaltet. Insgesamt ist BALZERS LFC 150 eine vielseitige und zuverlässige Ätz-/Aschermaschine, die leistungsstarke Funktionen für eine Vielzahl von Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen für Prozesssteuerung, Automatisierung und Überwachung ist diese Ausrüstung ideal für Forschung und Entwicklung, Pilotproduktion und Produktionsumgebungen mit hohem Produktionsvolumen, in denen Präzision und Konsistenz entscheidend sind.