Gebraucht BMR ICP #9286878 zu verkaufen
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BMR ICP (Inductively Coupled Plasma) ist ein Ätz- und Aschesystem zur Präzisionsbearbeitung. Es ist eine Hightech-Maschine zum Entfernen von Material von einem Substrat oder Wafer mit einem chemischen Ätzverfahren verwendet. ICP arbeitet ein reaktives Gas ab, das entweder durch lokalisierte Induktion oder Hochfrequenzanwendung abgeführt wird. Das System verwendet diese reaktiven Gase, um eine genaue Menge an Energie an das Substrat oder den Wafer zu liefern, um das Material sicher zu ätzen oder zu aschen. Dies führt zu einer präzisen Formgebung des zu ätzenden Bereichs und zu einem geringeren Materialverlust im Vergleich zu anderen Ätzverfahren. Das Verfahren besteht aus drei Stufen. Die erste Stufe ist das Induktionsverfahren, bei dem mit einem hochfrequenten Feld eine chemische Reaktion zwischen dem reaktiven Gas und dem Substrat oder Wafer erzeugt wird. Diese Chemolumineszenzreaktion erzeugt Wärme und ionisiert die Gasmoleküle zu aktiven Spezies. Die zweite Stufe ist der Aschevorgang, der stattfindet, wenn das erhitzte reaktive Gas über die Oberfläche des zu ätzenden oder zu aschenden Materials gesprüht wird. Die Energieübertragung vom Gas auf das Substrat hilft, das Material zu entfernen, während die Form und Integrität der Teile erhalten bleibt. Die letzte Stufe ist der Kühlvorgang, bei dem ein großes Volumen an Kühlmittel durch die Ätzkammer geleitet wird, um die Temperatur der Kammer auf die gewünschten Werte für die besten Ergebnisse zu reduzieren. Diese Kombination aus Induktion, Heizung und Kühlung hilft, den einzigartigen Ätzprozess zu schaffen, der präzise und genaue Ätzergebnisse ermöglicht. BMR ICP ist ein hocheffizientes Ätz- und Aschesystem, mit dem hochpräzise Teile mit sehr geringer Fehlermarge erzeugt werden. Es ist ein wesentliches Werkzeug für jedes Labor, jede Produktionsstätte oder jedes Forschungs- und Entwicklungsunternehmen, das empfindliche Ätz- und Ascheoperationen durchführen muss, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Infolgedessen liefert ICP hervorragende Ergebnisse mit minimalem Substratverlust und der Genauigkeit, die in vielen Branchen benötigt wird.
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