Gebraucht BRANSON / IPC 2000 #9009136 zu verkaufen

BRANSON / IPC 2000
Hersteller
BRANSON / IPC
Modell
2000
ID: 9009136
Plasma processing reactor center.
BRANSON/IPC 2000 ist ein Hochleistungsätzer und Ascher. Es ist mit einer einzigartigen, patentierten Reinigungsausrüstung ausgestattet, die es ermöglicht, mit jedem Ätz- und Aschezyklus ein hohes Maß an Genauigkeit und Qualität zu erhalten. Mit der Fähigkeit, bei Temperaturen von 400 ° F bis 800 ° F zu arbeiten, ist IPC 2000 ideal für viele industrielle Anwendungen. Die Hauptkomponenten von BRANSON 2000 sind die Ätzkammer, die Aschekammer und der RF-RF-Generator. Die Ätzkammer ist mit wärmeisoliertem Quarz ausgebildet und weist zur Einhaltung gewünschter Prozesstemperaturen eine eingebettete Ringheizung auf. Zusätzlich gibt es Ionenmessgeräte zur Messung des Kammerdrucks, eine Gasversorgungssteuerung zur Steuerung des Gasgehalts in der Kammer und ein Thermoelement zur Messung der Substrattemperatur. Die Ätzkammer ist groß genug, um Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll zu verarbeiten. Die Aschekammer hat ein einzigartiges, rotierendes Korbdesign, um ein gleichmäßiges Aschen zu gewährleisten. Der HF-Generator ist zweifrequent und enthält einen Frequenzschalter zur Einstellung der Prozessparameter, wie Ätz- oder Ascherate. Die Prozessraten können sowohl in der Zeit als auch in der Leistung an die gewünschten Spezifikationen angepasst werden. 2000 umfasst auch Mehrzonendruckkontrolle, Oxid-Ätzübersprühschutz und ein spezielles Filtersystem, die alle helfen, Einheit Sauberkeit zu erhalten und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine kann auch ultrapräzise Tiefenätzen mit minimaler Hitze und minimalen Anforderungen an zusätzliche Nachätz- und Aschereinigung durchführen. Insgesamt bietet BRANSON/IPC 2000 einen zuverlässigen, wiederholbaren und präzisen Ätz- und Ascheprozess. Es hat die Fähigkeit, auf den meisten Substraten zu arbeiten, einschließlich Glas, Metall, Keramik und Silizium. Dies macht es ideal für Automobil-, Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Halbleiterindustrie.
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