Gebraucht BRANSON / IPC RIE #161812 zu verkaufen
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BRANSON/IPC RIE (Reactive Ion Etching) ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleitern und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Es ist ein hochpräziser Plasmaätzer mit einer breiten Palette von Empfindlichkeit, hohem Durchsatz und niedrigen Betriebskosten. IPC RIE arbeitet, indem Plasma, das von RF Energy erzeugt wird, auf die Substratoberfläche abgeschieden wird, wo es Mikroeigenschaften schnell in das Material einätzt. BRANSON RIE ist mit einem Frequenzbereich von 3,5 kHz bis 130 MHz ausgestattet und bietet eine breite Palette von Gasarten, HF-Steuerungs- und Prozesssteuerungsfunktionen, die präzise und wiederholbare Ergebnisse ermöglichen. RIE nutzt ein Kammervakuum von 0,5-100 mTorr, wobei jede Kammer ein Vakuum von 10-5 und 10-6 Torr erreichen kann, das für genaues Ätzen und Abscheiden ausreicht. Die Kammer kann bis zu 25 Schüsse verarbeiten und kann in verschiedenen Modi wie Argon, CF4, Cl2, O2 und spezialisiert usw. ausgeführt werden. BRANSON/IPC RIE verfügt zudem über einen integrierten MCMT-Prozess, der über sequentielles und gleichzeitiges bidirektionales Ätzen ätzbar ist. Dies ermöglicht eine verbesserte Profilkontrolle, Prozesswiederholbarkeit und extrem schnelle Bearbeitungszeiten bei Beibehaltung einer feinen Auflösung und Oberflächengüte. IPC RIE bietet auch eine einstellbare Druckregelung, die einfache Anpassungen bei minimalem Aufwand ermöglicht. BRANSON RIE ist ein zuverlässiger und robuster Ätzer, der für eine Vielzahl von Anwendungen wie das Abscheiden von dünnen Folien und MEMS-Geräten, das Ätzen von Gräben, Rillen und Vias und das Ätzen anderer Materialien wie Saphir, Aluminium und Silizium eingesetzt werden kann. RIE ist benutzerfreundlich und bietet eine Vielzahl von technologischen Vorteilen gegenüber Nassätzsystemen. Zusammenfassend ist BRANSON/IPC RIE ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der zur Herstellung von Halbleitern und MEMS verwendet wird. Es bietet Benutzern eine breite Palette von Funktionen und Prozesssteuerungsfähigkeit, einschließlich der Fähigkeit zum Ätzen und Ablagern mit einer Vielzahl von Gasarten und HF-Steuerung. Es bietet auch schnelle Bearbeitungszeiten, Wiederholbarkeit und einstellbare Drucksteuerung, so dass es das perfekte Werkzeug für viele verschiedene Anwendungen.
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