Gebraucht BRANSON L3100/3 #9124208 zu verkaufen
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ID: 9124208
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1989
ICP asher, 8"
3000C Controller
1989 vintage.
BRANSON L3100/3 ist ein Ätzer/Ascher, der zum präzisen Hochleistungsätzen und/oder Aschen von Leiterplatten, Halbleiterscheiben und anderen ähnlichen Oberflächen verwendet wird. Dieses Gerät bietet eine Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten, wie eine einstellbare Ätztiefe, eine einstellbare Filamenttemperatur, eine Spotgröße von 140 μ m, eine Ätzdauer von bis zu 20 Minuten und einen maximalen Durchsatz von 10 Wafern pro Stunde. Darüber hinaus ist es auch in der Lage, bis zu 10 Substrate gleichzeitig zu verarbeiten. Der Ätzer/Ascher ist für mikroelektronische Anwendungen konzipiert und kann in eine Reinraumumgebung integriert werden. BRANSON L3100/3 ist ideal für Prozessanwendungen auf Chipebene, da es eine hohe Präzision, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit von geätzten und ashten Funktionen bietet. Es wird mit Strom betrieben und arbeitet von einem 32-Zoll breiten motorisierten Wagen. Der Ätzer/Ascher hat eine ebene, nicht poröse Oberfläche, die die Wirkung elektromagnetischer Strahlung auf das Substrat reduziert. Es bietet auch einen einfachen Zugang zu den vier Elektroden, so dass der Benutzer die Ätz- und/oder Ascheparameter auf seine gewünschten Werte einstellen kann. Um eine hohe Ätzrate zu gewährleisten, arbeitet es mit einem Druck zwischen -2,1 und 3,3 mbar und verfügt über einen integrierten Temperaturregler zur präzisen Temperaturregelung. Der Ätzer/Ascher wird mit einem Korb geliefert, der auf das Gerät abgestimmt ist. Dieser Korb fasst bis zu 10 Substrate in einer einzigen Charge. Mit der einstellbaren Klemmdruckeinstellung kann er auch schnell be- und entladen werden. Der einstellbare Klemmdruck ermöglicht einen gleichmäßigen Ätzvorgang unabhängig von der Substratgröße oder -art. Außerdem hilft der Einsatz von Stickstoffgas, eine Oxidation des Substrats während des Prozesses zu vermeiden. Der Ätzer/Ascher verfügt über ein Touchscreen-Bedienfeld, von dem aus der Benutzer auf alle Funktionen des Geräts zugreifen kann. Die Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung des Ätzers/Aschers und verfügt über ein klares und intuitives Menü zur Einstellung der Parameter und Durchführung des Ätz-/Ascheprozesses. Die Ergebnisse können zur weiteren Analyse auf einen Diagrammdatensatz gedruckt werden. Um einen sicheren Ätzvorgang zu gewährleisten, ist BRANSON L3100/3 Ätzer/Ascher mit einem Sicherheitsabschalter ausgestattet, der das Gerät abschaltet, wenn eine Überlastung vorliegt oder wenn eine der Parametereinstellungen die sicheren Betriebsgrenzen überschreitet. Darüber hinaus trägt eine wartungsarme Konstruktion ohne größere Wartungsanforderungen dazu bei, die Ausfallzeiten des Geräts zu reduzieren.
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