Gebraucht CANON / ANELVA DEA-503 #293649682 zu verkaufen

CANON/ANELVA DEA-503 ist eine reaktive Ionenätzmaschine (RIE), die speziell zum Ätzen von Halbleitern und anderen mikroelektronischen Materialien entwickelt wurde. Der RIE-Prozess erzeugt hochpräzise Ergebnisse, indem ein Plasma aus einem chemischen Reaktanten und einem elektrischen Feld verwendet wird, um Material von der Substratoberfläche zu entfernen. CANON DEA-503 ist in der Lage, organische und anorganische Materialien wie Silizium, Quarz und Keramik zusammen mit einer Reihe von anderen Halbleitern und dielektrischen Schichten zu ätzen. Die Maschine hat einen maximalen Temperaturbereich von 200 - 600 ° C und kann Substrate bis zu 200 mm Größe und 15 kg Gewicht aufnehmen. Die Maschine enthält mehrere Schlüsselkomponenten, beginnend mit einer Plasmakammer und zwei Pumpen, die das notwendige Vakuum und den chemischen Reaktanten liefern. Dieser Reaktant kann je nach geätztem Material ausgewählt werden, sodass Sie Sauerstoff, Chlor, Fluor und andere Elemente verwenden können. Die Stromquelle, ein frequenzgesteuerter Quellengenerator, liefert die notwendige Menge an HF-Leistung, die zur Erzeugung eines Plasmas benötigt wird. Die Elektroden innerhalb der Kammer erzeugen ein elektrisches Richtfeld, das je nach Ätzanwendung konfiguriert werden kann. Ein Druckmeßsensor ermöglicht es dem Bediener auch, den Druckausgleich in der Plasmakammer zu überwachen. Die erweiterte Software im Lieferumfang von ANELVA DEA-503 bietet eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Einstellungen schnell ändern oder Parameter anpassen können. Automatisierungsfunktionen wie Auto-Stop, Auto-Start und Auto-Tune sind ebenfalls enthalten, um Ätzprozesse effizienter zu gestalten. Darüber hinaus bietet die Benutzeroberfläche eine Fülle von Diagnosedaten, mit denen Probleme während des Ätzvorgangs behoben werden können. DEA-503 ist eine der zuverlässigsten und genauesten Ätzmaschinen auf dem Markt. Es wurde entwickelt, um überlegene Ergebnisse in der Genauigkeit und Präzision auf einer breiten Palette von Materialien zu liefern. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und erweiterten Automatisierungsfunktionen ist es gut für verschiedene industrielle Ätzanwendungen geeignet.