Gebraucht CANON / ANELVA DEM-451 #9055187 zu verkaufen

CANON / ANELVA DEM-451
ID: 9055187
Weinlese: 1987
Dry etcher 1987 vintage.
CANON/ANELVA DEM-451 ist ein Nassätz- und Aschetrockenätzer zur Verarbeitung von mikroskalierten Oberflächen und Materialien. Es verfügt über zwei verschiedene Verarbeitungseinheiten, die ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und Materialien sind, wie Substrataufbereitung, Geräteherstellung, Mikrokontaktdruck und 3D-Druck. Die Nassätzeinheit verfügt über einen Gülletank und eine druckvariable Pumpe. Diese Einheit ermöglicht einen gleichmäßigen Druck über den gesamten geätzten Bereich, was eine höhere Präzision und Genauigkeit ermöglicht. Der Gülletank kann mit einer Vielzahl von Mischungen wie KOH, TMAH und HF-Lösungen sowie mit kundenspezifischen Reaktanden beladen werden. Die Flüssigkeitsströmungsgeschwindigkeit und der Druck können sowohl eingestellt werden, um die gewünschten Ätzparameter zu erreichen. Die Ätzrate kann automatisch mit dem Bordcomputer überwacht werden. Die Aschetrockenätzeinheit von CANON DEM-451 besteht aus einer Vakuumkammer und mehreren Plasmaquellen. Das Vakuum bietet eine saubere und stabile Umgebung für den Aschevorgang. Die Plasmaquellen erzeugen ein fokussiertes und gleichmäßiges Plasma, das auf Abruf ist und perfekte Ascheergebnisse ermöglicht. Die Ashing-Prozessparameter können an das zu verarbeitende Material angepasst werden. Diese Parameter umfassen Ätzrate, Zeit und Art des verwendeten Gases, wie Sauerstoff, Argon, Helium oder CF4. Dieser erweiterte Ätzer ist für die Batch-Verarbeitung konzipiert und kann bis zu 19 Wafer gleichzeitig handhaben. ANELVA DEM-451 ist ein vielseitiges und präzises Werkzeug zum Ätzen und Aschen von mikroskalierten Oberflächen und Materialien. Es verfügt über ein zuverlässiges und robustes Design und bietet hervorragende Leistung in anspruchsvollen Mikroverarbeitungsanwendungen. Die benutzerfreundliche Steuerung bietet eine intuitive Schnittstelle und Prozessautomatisierung. Seine leistungsstarke Funktionalität, Flexibilität und Präzision machen es zu einer idealen Wahl für die Substratvorbereitung, Geräteherstellung, Mikrokontaktdruck und 3D-Druck.
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