Gebraucht CANON / ANELVA I-2100 #293754407 zu verkaufen
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CANON/ANELVA I-2100 ist ein von CANON und ANELVA, Inc. CANON I-2100 ist eine fortschrittliche, leistungsstarke Ätz-/Aschermaschine. Dieses Modell wird in der Produktion von Si Mikrofabrikation verwendet. Es verwendet einen Plasmagenerator, eine Vakuumkammer und ein Abgasgebläse, um Schaltungsmuster auf der Oberfläche von Si-integrierten Schaltungen (ICs) zu ätzen. Darüber hinaus ist das System in der Lage, die unerwünschten Oberflächenmaterialien, wie Photoresistrückstände, organische Verunreinigungen und andere unerwünschte Rückstände, zu veraschen. ANELVA I-2100 verwendet eine Dual-Plasma-Erzeugungseinheit, um Sputter- und Ätzfähigkeiten zu maximieren. Beim Ätzvorgang bewirkt das ionisierte Plasma eine Oberflächenmusterbildung auf dem Sil. Dieser Vorgang entfernt effektiv die Zielschicht und die verbleibenden Reste werden dann aschiert oder von der Oberfläche vergraben. Die Maschine nutzt vier externe Gasquellen, eine Hochtemperatur von bis zu 715 Celsius und einen Kammerdruck von bis zu 1.000 mbar, wodurch auch die härtesten Si-basierten Materialien geätzt werden können. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über einen einstellbaren HF-Arbeitszyklus sowie zusätzliche Funktionen, um mehrstufige Prozesse zu ermöglichen. Das computergestützte PC-Kontrollzentrum von I-2100 bietet eine Möglichkeit, die Ätz- und Ashing-Leistung zu überwachen, und ermöglicht es Benutzern, die Asset-Parameter zu steuern, um die Ätz- und Ashing-Leistung zu optimieren. CANON/ANELVA I-2100 Ätzer/Ascher-Modell ist ein ideales Werkzeug für Rapid Prototyping, Funktionsdichteverbesserung und MEMS-Fertigung. Seine robuste Leistung, erweiterte Ätz- und Aschefunktionen sowie einstellbare Parameter machen es zu einem Favoriten bei Ingenieuren und Designern. Mit seinem fortschrittlichen PC-Kontrollzentrum und mehreren Gasquellen kann es leicht mit anderen Systemen und Prozessen für maximale Effizienz integriert werden.
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