Gebraucht CANON / ANELVA I-42230 #9236119 zu verkaufen

CANON/ANELVA I-42230 ist ein Metall-Plasma-Ion-Etcher/Ascher-Werkzeug für die Waferzubereitung. Es ist für das In-situ-Ätzen, Reinigen und Strippen von Metallen wie Aluminium, Kupfer und Gold auf einer Vielzahl von Wafersubstraten konzipiert. CANON I-42230 verfügt über eine Einzelkammerkonfiguration mit Vakuum- und Gasversorgung, Multi-Height-Wafer-Manipulatoren und einer Hochvakuum-Metallplasmaquelle (MPS). Das MPS verfügt über eine Anode und zwei Ringe von Elektroden, die mit Kondensatoren betrieben werden und einen Ionenstrahl zum Ätzen erzeugen. Die Anode besteht aus Hochgeschwindigkeits-Wolframdraht, und die beiden Ringe der Elektroden bestehen aus Aluminiumschale und Kupferring. ANELVA I-42230 ist in der Lage, Metalle und Metalloxide von der Waferoberfläche zu ätzen, Metalloberflächen und Bandmetalle aus dem Wafer zu reinigen. Es eignet sich für eine Vielzahl von Prozessparametern und -bedingungen. I-42230 ist mit einem variablen Massenstromregler ausgestattet, der eine präzise Steuerung von Ätz- und Reinigungsprozessen ermöglicht. CANON/ANELVA I-42230 hat je nach Prozess, Waferoberfläche und Foliendicke eine Ätzzeit von etwa einer bis mehreren Minuten. Es kann auch verwendet werden, um Wafer zu behandeln, die dicker als etwa vier Mikrometer sind. Es hat eine maximale Ätzrate von bis zu 1,0 µm/min und eine maximale Prozesstemperatur von 500 ° C. CANON I-42230 verfügt über einen Vakuumbereich von 50 bis 8 x 10-5 Pa. Es ist in der Lage, bis zu zwei Prozessgase, entweder Stickstoff und Oxy-Wasserstoff oder Argon und Oxy-Wasserstoff. Er hat eine Leistungsaufnahme von 12 kW für das Ätzen und 36 kW für das Aschen sowie einen Prozessdruckbereich von 0,3 bis 30 mbar. Zur Sicherheit verfügt ANELVA I-42230 über eine Brandmeldeanlage mit Sensoren, die die Gasströmung und die Prozessbedingungen überwachen. Das System ist mit der zentralen Steuerung verbunden, die vor Gefahren warnt. I-42230 verfügt außerdem über einen Not-Aus-Schalter und einen Masse-Störungsisolationsschalter. CANON/ANELVA I-42230 ist einfach einzurichten und zu bedienen. Es ist auch sehr zuverlässig in der Leistung und ist als eines der kostengünstigsten Plasmaätz-/Ascherwerkzeuge auf dem Markt bekannt. Dieses Ätz-/Ascherwerkzeug ist ideal für die Herstellung von Wafern, MEMS/MOEMS-Prozesse und die Herstellung von integrierten Schaltungen.