Gebraucht CANON / ANELVA ILD 1060 #9111594 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 1060 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher der CANON Corporation. Dieses Gerät bietet modernes Trockenätzen und ionisiertes physikalisches Sputtern für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen. Das System verwendet eine optische Einheit mit hoher Vergrößerung, um den Ionenstrahl genau zu fokussieren und eine höhere Verarbeitungsgenauigkeit bei geringerer Substratschädigung zu gewährleisten. Die Maschine wird mit einem integrierten vierachsigen Bewegungswerkzeug mit präzisen Linearantriebsservomotoren gebaut. Es bietet einen genauen und wiederholbaren Ätzprozess, um eine hochgenaue Feinmusterung zu erreichen. Seine Direct Vibration Motion Compensation (DVMC) bietet ultrafeines Ätzen mit minimalen Schwankungen als Reaktion auf externe Vibrationen. CANON ILD 1060 ist in der Lage, ultrafeine Muster auf Siliziumscheiben zu produzieren, da es in der Lage ist, Merkmale mit einer Breite von bis zu 2 Mikrometern und einer Tiefe von bis zu 40 Nanometern zu ätzen. Das Asset kann für Mehrschichtprozesse verwendet werden, da es verschiedene Materialschichten durchätzen kann, ohne die Integrität der Schichten zu beeinträchtigen. Das Modell verfügt über einen automatisierten Auf/Ab-Prozess mit der ultradünnen Filmätztechnologie, der eine zusätzliche hochpräzise Ätzung ermöglicht und gleichzeitig Gleichmäßigkeit und Prozesswaferschäden reduziert. Das Gerät ist auch in der Lage, mit einem verstellbaren lokalen Heizsystem zu trocknen, das bis zu 1000W Energie auf die Substratoberfläche liefern kann. ANELVA ILD 1060 ist kompatibel mit einer Reihe von verschiedenen Prozessgasen, einschließlich Sauerstoff, Argon und Stickstoff. Seine In-situ-Waschpartikel-Einheit reduziert Verschmutzungen und sorgt für eine überlegene Waferreinigung. Die Maschine verfügt auch über eine Remote-Schnittstelle vor Ort, die eine Fernüberwachung und -steuerung ermöglicht. Abschließend ist ILD 1060 ein leistungsstarkes und präzises Ätz-/Ascherwerkzeug, das eine Reihe von komfortablen Funktionen bietet. Seine Fähigkeit, feine Muster mit hoher Genauigkeit zu erstellen, kombiniert mit seiner umfassenden End-to-End-Fernfunktion, stellt es an der Spitze von Trockenätzen und ionisierten physikalischen Sputterprozessen.