Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4002 #9111252 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4002 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die für tiefenreaktive Ionenätzanwendungen (DRIE) in der Halbleiter-, MEM- und optoelektronischen Industrie entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, Ätz- und Plasmaoperationen mit Präzision und Kontrolle abzuschließen. CANON ILD 4002 verfügt über eine umfassende Palette von Prozessparametern und ermöglicht komplexes Feature-Ätzen über eine breite Palette von Materialien. Diese Ätzeinheit eignet sich für eine Vielzahl von schwer ätzbaren Materialien, von Galliumarsenid (GaAs) bis Polysilizium. Die fortschrittliche Doppelkammer-Ätzmaschine von ANELVA ILD 4002 ist für präzise, wiederholbare Tiefätzfunktionen konzipiert. Dieser Ätzer verfügt über eine optimierte Hochfrequenz (RF) -Anpassung und gekoppelte Leistung, während eine Hochdruckätzumgebung ein Hochfrequenzätzen in einer Reihe von Substraten ermöglicht. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Zubehöroptionen, die Flexibilität für verschiedene Ätz- und Ascheoperationen bieten. Das innovative Kammerdesign auf der ILD 4002 reduziert die Kontaminationsmöglichkeiten und ermöglicht gleichzeitig einen einfachen Zugang zum Substrat. Dieses kompakte Ätz- und Ascherwerkzeug ist in der Lage, Tiefätzen auf einer breiten Palette von Materialien. Es bietet auch hochgenaue Aschfunktionen für Präzisionsätz- und Veraschungsanforderungen. Das innovative Design von CANON/ANELVA ILD 4002 sorgt für niedrige Prozesstemperaturen, geringe Ausgasung und minimale Kontamination für Ätz- und Aschevorgänge. CANON ILD 4002 bietet eine Reihe von Produktivitäts- und hochpräzisen Ätz- und Aschefunktionen. Es verfügt über nanoskalige Ätzfähigkeit, mit Funktionen bis zu 50nm erreichbar. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine Tieftemperatur-Ätzfähigkeit mit Ätzraten von bis zu 350 nm/min und Nachätzreinigungsprozessen. Das Modell bietet auch eine robuste Auswahl an Ätzprozessen und Funktionen, einschließlich der Feinfunktions-Selektivitätskontrolle, Ätzraten bis zu 2.500nm/min und Fehlerunterdrückungsprozesse. ANELVA ILD 4002 hat auch eine 16 "Wafer-Fähigkeit, die direkte Waferbearbeitung ermöglicht. Insgesamt ist ILD 4002 eine fortschrittliche Ätz- und Aschermaschine, die den anspruchsvollen Anforderungen an Deep Reactive Ion Etching (DRIE) -Anwendungen gerecht wird. Es bietet hochpräzise Ätz- und Aschefunktionen sowie nanoskalige Ätzfunktionen und Funktionen bis zu 50nm. Dieses System verfügt auch über eine robuste Vielzahl von Ätzprozessen und Funktionen, einschließlich Nachätzreinigungsprozessen und Fehlerunterdrückungsprozessen.