Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4002 #9111382 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4002 ist ein Ätzer, auch als Ascher bekannt, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Diese Maschine ist ein anspruchsvoller, mehrstufiger reaktiver Ionenätzer (RIE) und Trockenätzer, der zur Abscheidung von dünnen Schichten aus dielektrischen und Metallätzkomponenten über Siliziumscheiben entwickelt wurde. Es ist in der Lage, hochauflösende feinkörnige Merkmale zu erzeugen. Die Maschine wird von einem Computer gesteuert, der eine präzise Steuerung der Ätzparameter ermöglicht. Dies hilft, die Ätzergebnisse zu optimieren, indem die Ausbreitung von Ätzschäden, der Grad der offenen Porosität und der Grad des Bodenwandprofils begrenzt werden. Es kann auch verwendet werden, um 3D-Strukturen mit Null Seitenwandvorspannung zu ätzen. CANON ILD 4002 ist in der Lage, 3, 5 und 8-Zoll-Wafer zu verarbeiten. Seine Plasmakammern sind mit Sekundärelektronen-Suppressor (SES) und Interferenzfiltern ausgestattet, um kritische Oberflächenverunreinigungen zu minimieren, was die Leistung der geätzten Struktur beeinflussen kann. Ein automatisiertes Messgerät ist enthalten, um eine konstante Prozessüberwachung mit Rückmeldung an das Computersystem zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen Druckregler und eine Quarzkristall-Mikrowaage zur präzisen Ätzung. Das einzigartige Design der Maschine reduziert die Zeit für Reinigungsschritte und ermöglicht eine einfache Wartung. Diese Maschine wird durch eine hochempfindliche thermisch gesteuerte Pinzette weiter verbessert, die bei engen Platzierungen von Wafern hilft. ANELVA ILD 4002 ist auch speziell entwickelt, um maximale Sicherheit zu gewährleisten. Seine Sicherheitssysteme umfassen Argon-Zerstäuber, sicherheitsgesteuerte Signale im Notfall und mehrere Sicherheitssensoren. Der Abgasfilter hält Partikelwerte weit unter den Grenzwerten, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Insgesamt ist ILD 4002 ein hochmodernes Ätzwerkzeug. Es ist in der Lage, enge, kleine Merkmale für immer komplexere Mikroherstellungsprozesse herzustellen. Es verfügt über mehrere Sicherheits- und Technologiefunktionen, die es zu einem der beliebtesten Ätzsysteme für die Halbleiterindustrie machen.