Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4003M #9111256 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4003M Ätzer/Ascher ist eine Hochleistungs-Trockenätzanlage, die für eine Vielzahl von industriellen Mikroherstellungsanwendungen geeignet ist. Es ist für die Mikrostrukturierung und Mikrobearbeitung verschiedener Materialien konzipiert, einschließlich Silizium, dünne Filme usw. Das System verwendet reaktives Ionenätzen (RIE), um Mikrostrukturen mit hohem Seitenverhältnis zu erzeugen. CANON ILD 4003M verfügt über einen langen Lebenszyklus, effiziente und zuverlässige Leistung und geringen Materialverbrauch. ANELVA ILD 4003M kann dank seiner Hochvakuum-Thermoätzfähigkeiten niedrigere Ionenenergie als herkömmliche Systeme erzielen. Es verwendet magnetronbasierte „Cold“ Source-Technologie, die eine effiziente Ionenstrahlabscheidung auf der Substratoberfläche gewährleistet. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Prozeßvorkonditionierungsparametern und -merkmalen für Vor- und Nachbearbeitungsschritte ausgestattet, die Sauerstoffreinigung, Hartmaskenabscheidung, Glossen, Ätzen und Metallätzen umfassen. Die ILD 4003M integrierte Prozessfrequenzsteuerung (IPFC) und die Plasmafokussierung wurden entwickelt, um das reaktive Ionenätzen zu verbessern und eine höhere Präzision zu ermöglichen, was zu qualitativ hochwertigen und wiederholbaren Gerätefunktionen führt. Darüber hinaus bietet CANON/ANELVA ILD 4003M hervorragende Ätzgleichmäßigkeit, geringe Funktionsgröße und hohe Ätzrate. Es unterstützt auch eine Reihe von Ätzgasen, einschließlich Argon, Kohlendioxid, Sauerstoff und Wasserstoff. CANON ILD 4003M bietet eine breite Palette von Prozessbedingungen, die die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Anwendungen gewährleisten, darunter Lithographie, 3D-Formung, MEMS und andere Mikrofabrikationsprozesse. Es verfügt über eine intuitive LCD-Touch-Panel-Oberfläche für eine einfache Bedienung und Verwaltung des Ätzprozesses. Darüber hinaus verfügt ANELVA ILD 4003M über eine integrierte Fernüberwachungsfunktion, die hilft, Effizienz zu gewährleisten und Ausfallzeiten zu minimieren. Insgesamt ist CANON ILD 4003M eine ideale Ätzmaschine für hochwertige Mikrostrukturen in einer Vielzahl von Anwendungen. Die modernsten Funktionen und fortschrittlichen Technologien machen es zu einem zuverlässigen und leistungsstarken Werkzeug für die industrielle Mikrofabrikation.