Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4015 #9143474 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4015 ist ein Ätzer/Ascher für die Herstellung von mikroelektromechanischen Strukturen wie Mikroelektronik, Sensoren und anderen hochpräzisen Bauelementen. Es ist ein induktiv gekoppelter Plasma (ICP) Trockenätzer/Ascher mit einer Elektronenstrahlquelle, der Argon und CF4 Gase verwendet, um die Probenoberfläche in einer Hochvakuumumgebung zu ätzen. CANON ILD 4015 ist eine kleine, vielseitige Ausrüstung, die sich für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen eignet. ANELVA ILD 4015 besteht aus vier Hauptkomponenten: einer Probenkammer, einer Pumpeinrichtung, einer Elektronenstrahlquelle und einer Stromversorgung. Die Probenkammer besteht aus Aluminium mit elektrostatischen und Permanentmagneten und einem Gasfördersystem, das eine präzise Steuerung der Ätzgasverteilung ermöglicht. Die Pumpeinheit beherbergt sowohl eine Turbomolekularpumpe als auch eine mechanische Verstärkerpumpe, um eine Hochvakuumumumgebung für die Plasmaprozesssteuerung zu erreichen. Die Elektronenstrahlquelle erzeugt einen hochintensiven Elektronenstrahl, der zur Erzeugung des Plasmas verwendet wird. Schließlich ist die Stromversorgung für die Steuerung der Elektronenstrahlenergie und die Aufrechterhaltung des Plasmas zuständig. ILD 4015 ist in der Lage, Funktionsgrößen bis zu 20 Mikrometer zu ätzen und zu aschen und kann Metall, Silizium, Siliziumdioxid und andere Materialien ätzen. Seine Hochvakuumumgebung macht einen Schritt der nassen Oberflächenpassivierung überflüssig, und seine Elektronenstrahlquelle ermöglicht eine Niedrigtemperaturverarbeitung, die frei von Verschmutzungen und Beschädigungen ist. Darüber hinaus ist die Steuerung der Gasliefermaschine und die Kontrolle der Gleichmäßigkeit der Oberflächenätzung für eine Vielzahl von Prozessanforderungen geeignet. CANON/ANELVA ILD 4015 eignet sich auch gut für eine Reihe von Charakterisierungstechniken, wie die Sekundär-Ionen-Massenspektrometrie (SIMS) und die Atomkraftmikroskopie (AFM). Seine Hochvakuumumgebung und Temperaturregelung ermöglichen ein hochpräzises Ätzen und Aschen empfindlicher Komponenten, während die Elektronenstrahlquelle zur Durchführung von Anionenstrahlsputterätzen und Oxidation der Probe verwendet werden kann. Darüber hinaus ist CANON ILD 4015 für übersprechfreie Experimente ausgelegt, die bei der Charakterisierung notwendig sind. Insgesamt ist ANELVA ILD 4015 ein effektiver Ätzer/Ascher für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen. Seine Hochvakuum-Umgebung, Elektronenstrahlquelle und Gaslieferwerkzeugsteuerung bieten Benutzern eine präzise Prozesssteuerung. Es ist auch gut geeignet für eine Reihe von Charakterisierungstechniken, so dass es ein ausgezeichnetes Werkzeug für die Herstellung von hochpräzisen Gerätekomponenten.