Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4015 #9257789 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILD 4015
ID: 9257789
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Dry etcher, 6" 1991 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4015 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der für industrielle und Forschungszwecke konzipiert ist. Diese Maschine ist in der Lage, hochgenaue und komplizierte Muster auf Substratmaterialien zu erstellen. Es ist ein zweikomponentiger Ätzer/Ascher, was bedeutet, dass es in der Lage ist, entweder Ätzen oder Aschen als primäre Verarbeitungsmethoden zu verwenden. CANON ILD 4015 verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmakammer (ICP), um eine Hochtemperaturumgebung zu schaffen, die zum Ätzen oder Aschen des Substratmaterials verwendet wird. Die Kammer hat ein integriertes Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Magnetron, das die Temperatur und Dichte des Plasmas innerhalb der Kammer weiter erhöht, um präzise Ätzergebnisse zu gewährleisten. Die Ätz- und Aschezeiten von ANELVA ILD 4015 können an die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung angepasst werden, da das Verfahren sehr abstimmbar ist. Die maximale Bearbeitungsfläche beträgt 150mm x 150mm, wodurch sie für eine Reihe von Substraten mit unterschiedlichen Formen und Größen geeignet ist. Das integrierte Vakuumsystem ermöglicht es ILD 4015, während der Ätz- und Ascheprozesse einen sehr konstanten Druck aufrechtzuerhalten. Dadurch wird eine gleichmäßigere Verteilung des Ätzens auf dem Substratmaterial gewährleistet, was zu qualitativ hochwertigeren Endprodukten führt. Die Maschine kann bei einem Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 900 ° C betrieben werden, so dass sie für eine Vielzahl von Prozessen wie Waferdotierung, 3D-Strukturierung und Oberflächenmodifizierung eingesetzt werden kann. CANON/ANELVA ILD 4015 bietet auch eine Reihe von anderen Funktionen, einschließlich Beschleunigersteuerung, kontrollierte Gaseinleitung und automatische Gasabschaltung. Diese Eigenschaften tragen dazu bei, die Genauigkeit der Ätz- und Ascheprozesse weiter zu erhöhen und eine genauere Kontrolle des Endergebnisses zu ermöglichen. CANON ILD 4015 ist ein hochpräziser, abstimmbarer Ätzer/Ascher für industrielle und Forschungszwecke. Die integrierte ICP-Kammer, das ECR-Magnetron und das Präzisionsvakuumsystem ermöglichen es, Substratmaterialien mit hoher Genauigkeit und Effizienz zu ätzen und zu aschen. Der einstellbare Temperaturbereich, das Beschleunigersteuersystem, die gesteuerte Gaseinleitung und die automatischen Abschaltfunktionen verbessern die Fähigkeiten der Maschine weiter und machen sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet.
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