Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4015 #9390493 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILD 4015
ID: 9390493
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Dry etcher, 6" 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4015 ist ein Ätzer/Ascher oder Vapor Etch Asher, bei dem Dampfätzen oder Ätzplasmatisches Ätzen an Proben während der Forschung und Entwicklung, vor Produktionsläufen oder für Laboruntersuchungen durchgeführt wird. Diese Einrichtung arbeitet mit metallorganischen Gasen, die von außerhalb der Kammer angesaugt und dann zu einem Plasma erhitzt werden. Das resultierende Plasma dient zum Ätzen oder Aschen von Proben innerhalb der Vorrichtung. CANON ILD 4015 ist ein leistungsstarkes Werkzeug zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Metallen, Polymeren und Halbleitern. ANELVA ILD 4015 verwendet ein fortschrittliches Flating Electrode Technology (FET) -Ascheprinzip, das die metallorganischen Gase erwärmt, um ein Plasma zum Ätzen und Aschen zu erzeugen. Die schwimmenden Elektroden befinden sich in unterschiedlichen Abständen von dem zu ätzenden Material und ermöglichen eine gleichmäßige Verteilung des Plasmas während des Prozesses. Das FET-System bietet auch unübertroffene Gleichmäßigkeit in Ätz- und Aschezeiten. Mit dieser Technologie kann ein lokalisiertes Flächen- oder selektives Ätzen erreicht werden. ILD 4015 ist mit einem elektrostatischen Spannfutter ausgestattet, das die präzise Platzierung von Wafern vor dem Aschen ermöglicht. Es kann rechteckige Proben bis zu einer Größe von 200 mm x 300 mm behandeln und maximal fünf Einheiten pro Charge verarbeiten. Auch CANON/ANELVA ILD 4015 ist mit leistungsstarken Vakuumpumpen ausgestattet, die ein Basisvakuum von 3 x 10-6Pa bieten. CANON ILD 4015 ist ein digitaler Ätzer. Es verfügt über einen integrierten Mikroprozessor und eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche. Die digitale Anzeige zeigt den Druck, die Temperatur und die Zeit während des Ätz- oder Aschevorgangs und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Prozessbedingungen und der Kammeratmosphäre. Abschließend ist ANELVA ILD 4015 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, ausgestattet mit fortschrittlicher Technologie und intuitiven bedienerfreundlichen Bedienelementen. Es ermöglicht das effiziente Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien und bietet eine präzise Kontrolle über den Prozess. Die Vielseitigkeit und Leistungsfähigkeit der ILD 4015 macht sie zu einem nützlichen Werkzeug für jedes Forschungs- oder Produktionslabor.
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