Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4032 #9257788 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILD 4032
ID: 9257788
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Oxide dry etcher, 6" 1991 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4032 ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher zur Herstellung hochwertiger geätzter und aschierter Halbleiterbauelemente mit hoher Präzision und Genauigkeit. Es ist ein Filmätzer und Ascher, die verwendet wird, um hohe Genauigkeit feine Muster auf elektronischen Schaltungen zu schaffen. CANON ILD 4032 ist ein kompaktes Design, das sich in einen kleinen Raum einfügen kann, und bietet eine breite Palette von Funktionen, die es zu einem attraktiven Werkzeug für viele Halbleiteranwendungen machen. ANELVA ILD 4032 bietet eine breite Palette von Verarbeitungsverfahren zum Ätzen und Aschen von Siliziumscheiben und anderen Substraten. Es verfügt über eine gasgeschirmte, hochpräzise Diodenlaserquelle zum Ätzen, Aschen und Mustern. Es verfügt auch über ein einstellbares Druckätzgerät, eine variable Gasdruckregelung, eine einstellbare Ätzgeschwindigkeit und ein Steuersystem, mit dem Benutzer verschiedene Prozesseinstellungen steuern und speichern können. ILD 4032 verfügt zudem über eine verbesserte optische Einheit, die eine hervorragende Auflösung und Positionsgenauigkeit ermöglicht. Die Maschine ermöglicht das präzise Ätzen und Aschen auf empfindlichen Substraten, und das Werkzeug ist darauf ausgelegt, mehrere Substrate gleichzeitig zu bearbeiten. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem eingebauten Kühlmodell konzipiert, um den Wafer vor Schäden durch Wärme während der Verarbeitung zu schützen. CANON/ANELVA ILD 4032 verfügt auch über ein kundenspezifisches Ätzverfahren, das auf die spezifischen Anwendungsanforderungen des Kunden zugeschnitten ist. Eine Reihe von Maskierungsmaterialien, wie Aluminium, Magnesium und Kupfer, stehen zur Verfügung, um ein anwendungsspezifisches Ätzen zu ermöglichen. Darüber hinaus kann CANON ILD 4032 mit verschiedenen photolithographischen Verfahren eingesetzt werden, die eine breite Palette möglicher Geometrien für das Ätzen ermöglichen. ANELVA ILD 4032 wurde auch unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Es enthält eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie eine automatische Gasabschaltung, wenn gefährliche Druckniveaus erkannt werden, eine Lüftungseinrichtung, um eine ausreichende Belüftung rund um den Arbeitsbereich zu gewährleisten, und ein System von Filtern, um Verunreinigungen fernzuhalten. Schließlich wurde ILD 4032 mit Blick auf Wartungsfreundlichkeit und Wartung entwickelt. Standardkomponenten und austauschbare Teile sind leicht verfügbar, wenn gewünscht, und die Einheit ist so konzipiert, dass sie nur minimale Wartung erfordert, um den Betrieb in Top-Zustand zu halten. Darüber hinaus stehen eine breite Palette von Diagnosetools zur Verfügung, um Probleme schnell zu diagnostizieren und Qualitätssicherungsschritte sind vorhanden, um ein gleichbleibendes Qualitätsniveau zu gewährleisten.
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