Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4032 #9390492 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILD 4032
ID: 9390492
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Dry etcher, 6" 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4032 ist eine Art Trockenätzer, auch bekannt als Ascher. Mit dieser Maschine werden Muster oder Formen zu einem Substrat geätzt. Es arbeitet mit einem subtraktiven Verfahren, das üblicherweise für komplexe Fertigungs- oder Ätzanwendungen verwendet wird, wodurch eine überlegene Auflösung gegenüber herkömmlichem mechanischem Bohren oder Fräsen erzielt wird. CANON ILD 4032 wird von einer Hochspannungs-HF-Quelle gespeist und nutzt ein geschlossenes Prozessleitsystem zur präzisen Ätzsteuerung. ANELVA ILD 4032 hat eine kompakte Bauweise und ist leicht - und eignet sich somit gleichermaßen für Labor- und Produktionsumgebungen. Es verfügt über eine eingebaute Lastschloßkammer und einen chemisch beständigen Festkörper-Zielhalter, der sowohl autoloadbar als auch manuell betätigbar ist. Darüber hinaus bietet ILD 4032 dem Anwender die Flexibilität, verschiedene Substrate wie Glas, Silizium, GaAs, Polyimid und andere Polymere zu verwenden. CANON/ANELVA ILD 4032 verwendet ein induktiv gekoppeltes Plasmaätzverfahren (ICP). Dieses Verfahren besteht darin, eine oberhalb des Arbeitsbereichs befindliche Spule mit einem Hochfrequenzsignal zu beaufschlagen, das dann ein Induktionsfeld in dem zum Ätzen verwendeten Gas erzeugt. Das induktiv gekoppelte Plasma ermöglicht eine größere Kontrolle des Ätzprozesses und bietet dadurch eine höhere Qualität der geätzten Merkmale. Hinsichtlich der Leistung ist CANON ILD 4032 in der Lage, Auflösungen bis zu 0,3 µm zu erreichen, was für Präzisionsätzanwendungen geeignet ist. Es hat auch eine große Ätzfläche, die bis zu 6,25 cm2 (3,1 Zoll) abdeckt, was es gut für das Ätzen auf Produktionsebene geeignet macht. ANELVA ILD 4032 kann Materialien wie Aluminium, Kupfer und andere Materialien ätzen, die eine höhere Ätzrate erfordern. Beiseite von seinen Ätzenfähigkeiten wird ILD 4032 mit Sicherheitseigenschaften wie Niedrigstromspannungs-DC-Entladungsverhinderung, Kreisbogenentdeckung und O2-Monitoraussperrungsfähigkeit ausgestattet. Diese Funktionen schützen sowohl den Benutzer als auch die Maschine und sorgen für einen sicheren Betrieb beim Ätzen oder bei anderen Prozessen. Zusammenfassend ist CANON/ANELVA ILD 4032 eine ideale Wahl für Präzisionsätzanwendungen. Es hat eine kompakte Bauweise, eine leichte Konstruktion und verfügt über einen chemisch resistenten Zielhalter, der es sowohl für Labor- als auch für Produktionsumgebungen geeignet macht. CANON ILD 4032 verwendet ein induktiv gekoppeltes Plasmaverfahren, das eine bessere Kontrolle ermöglicht, was zu qualitativ hochwertigeren geätzten Eigenschaften führt. Es ist auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die einen sicheren Betrieb ermöglichen.
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