Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4033 #9111258 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4033 ist eine komplexe reaktive Ionenätzung und atmosphärische Druck Trockenätzung (APDE) Ausrüstung, die Präzisionsanalysen in mehreren Bereichen der Forschung liefern kann. Dieses System wird speziell zum Ätzen von Materialien wie Metallen, Halbleitern und anderen Verbindungen verwendet. CANON ILD 4033 Einheit verfügt über eine integrierte mehrstufige Wafer/Substrate Handhabungsmaschine entwickelt, um in einer Atmosphäre des Vakuums ohne die Notwendigkeit eines zusätzlichen Handhabungs- und Transportwerkzeugs auszuführen. Die Anlage umfasst eine Spindel, einen Tisch, einen Roboterarm und weitere Komponenten zum schnellen und zuverlässigen Be- und Entladen von Wafern aus der Prozesskammer. Dieses Modell bietet auch einen optionalen Stickstoffkrümmer für die Verarbeitung von Gas und Wafer Temperaturregelung, integrale Wafer-Auswahl und Kupplungssysteme zur präzisen und sicheren Handhabung von Wafern. ANELVA ILD-4033 Geräte können sowohl reaktives Ionenätzen (RIE) als auch atmosphärisches Druck-Trockenätzen (APDE) durchführen. Es ist mit einem elektrostatischen Spannfutter ausgestattet, um den Wafer sicher zu halten und passiert eine Plasmaentladung zwischen Elektrodenringen. RIE-Verfahren werden am häufigsten zum Ätzen von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und anderen Verbindungshalbleitern verwendet. Das APDE-Verfahren wird üblicherweise zum Ätzen von Strukturen aus Aluminium, Metalloxid-Halbleiter (MOS) und Metall-Isolator-Halbleiter (MIS) verwendet. Sowohl für RIE als auch für APDE-Prozesse bietet ILD-4033 System einen optionalen Quarzaufroller, um die Materialgleichförmigkeit zu erhalten und die Ätzsymptome zu reduzieren. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer leistungsstarken, Datenerfassungssteuerung ausgestattet, die auch für die Steuerung der Prozessparameter, die Überwachung der Wafertemperatur und die manuelle Überschreibung von Prozesseinstellungen durch den Benutzer zuständig ist. Diese Kontrollstation ist voll kompatibel mit Rezeptprogrammierung und ermöglicht eine einfache Überwachung von Waferdetails in Echtzeit. CANON/ANELVA ILD-4033 ist eine unglaublich leistungsstarke Maschine während des Ätzprozesses und bietet W/M, VO und O2 kompatible Prozesse sowie druck-, temperatur- und photoresistkompatible Prozesse. Das robuste Design und die hochentwickelten Komponenten dieses Werkzeugs ermöglichen das Ätzen von Submikronätzen bis zum Tiefätzen auf einer breiten Palette von Materialien. Insgesamt ist ANELVA ILD 4033 reaktives Ionenätzen und atmosphärisches Druck-Trockenätzen (APDE) ein unglaublich fortschrittliches Modell, das entwickelt wurde, um ein präzises und zuverlässiges Ätzen von Metallen, Halbleitern und anderen Verbindungen zu ermöglichen. Mit einer leistungsstarken Kontrollstation für die Datenerfassung und einem umfassenden Sortiment an Ätzprozessen bietet dieses Gerät erstklassige Ätzleistung für Forschungsanwendungen.