Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4033 #9257787 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4033 ist ein kompakter, leistungsstarker, reaktiver Ionenätzer (RIE )/Ascher mit Inertgastechnologie. Es handelt sich um eine Einwafereinrichtung, bestehend aus einer das Substrat aufnehmenden Hauptkammer, einer internen Prozesskammer und einer externen Kammer zur Abgabe des im Ätzprozess verwendeten Inertgases. Das System ist für das Ätzen einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Silizium, Metallfolien und anderen Halbleitermaterialien konzipiert. CANON ILD 4033 ist in der Lage, Material mit präziser Kontrolle und Gleichmäßigkeit genau zu ätzen. Die Prozesskammer enthält eine Feinsteuereinheit zur Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Ätztiefe und einen einstellbaren Ätzkammerdruck zur Steuerung der Ätzzeit und -temperatur. Die Maschine ist zudem mit sehr hohen Ätzraten versehen und weist eine hohe Toleranz für Schatteneffekte aufgrund unterschiedlicher Ätzraten unterschiedlicher Materialien auf. ANELVA ILD-4033 ist mit einem integrierten Controller ausgestattet, der es dem Benutzer ermöglicht, den Ätzprozess zu programmieren, bis zu 99 Prozessprogramme zu speichern, unterbrochene oder unvollständige Prozesse neu zu starten und eingestellte Parameter während des Betriebs anzupassen. Die Hauptkammer ist auch mit Quarzfenstern ausgestattet, um die Visualisierung des Ätzprozesses zu ermöglichen. ILD 4033 nutzt eine HF-Stromversorgung und ICP (Inductively Coupled Plasma), um eine Atmosphäre zu erzeugen, die ideal zum Ätzen geeignet ist. Das Werkzeug ist in der Lage, ICP-Plasma mit Kaltwandelektrodentechniken, HF-Vorspannung und AC/DC-Stromversorgung zu erzeugen. Die Hauptkammer ist so konzipiert, dass sie hohe Plasmadichten erzeugt und stabile Bedingungen während des gesamten Prozesses aufrechterhält und präzise und reproduzierbare Ätztiefen ermöglicht. ILD-4033 ist mit einer fortschrittlichen Sicherheitseinrichtung ausgestattet. Das Modell ist mit einer explosionsgeschützten Tür und einer Reihe von Sicherheitsschaltern ausgestattet, um eine versehentliche Exposition gegenüber Ätzchemikalien zu verhindern. Die Prozesskammer wurde entwickelt, um Partikelerzeugung und äußere Beschädigungen der Ausrüstung zu verhindern. Zusätzlich überwacht ein Umgebungssensor kontinuierlich die interne Umgebung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Abschließend ist ANELVA ILD 4033 ein leistungsstarker, reaktiver Ionenätzer/Ascher, der Inertgastechnologie verwendet, um Materialien mit Präzision und Genauigkeit zu ätzen. Die fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen und die integrierte Steuerung bieten dem Anwender einen effizienten und zuverlässigen Ätzprozess.