Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4033 #9258941 zu verkaufen

CANON/ANELVA ILD 4033 ist ein Ätz-/Aschwerkzeug, das hauptsächlich bei der Herstellung elektronischer Komponenten und Geräte eingesetzt wird. Sie ist in der Lage, sowohl nasse als auch trockene Ätz-/Ascheprozesse durchzuführen, die ein breites Anwendungsspektrum in der Komponentenfertigung ermöglichen. CANON ILD 4033 verfügt über einen HF-Plasmagenerator, der ein hochleistungsfähiges Plasma für ein einheitliches Ätzprofil erzeugt. Dieser Generator besteht aus einem Doppelfrequenzschrank, einem Dual-Frequenz-Netzteil und einer HF-Plasmaquelle, die ANELVA- ILD-4033 mit einem breiten Spektrum plasmaerzeugender Fähigkeiten versehen. Das Werkzeug ist auch mit einer fortschrittlichen automatischen Elektrodenvorspannung ausgestattet, die die Erzeugung verschiedener Ätz-/Ascheeffekte ermöglicht. Dies wird erreicht, indem die Elektrodenspannung eingestellt wird und es dem Benutzer ermöglicht wird, individuelle Ätz-/Ascheparameter vorzunehmen. Das Modell wurde entwickelt, um sowohl die Genauigkeit als auch die Geschwindigkeit während des Ätz-/Aschevorgangs zu maximieren. Es verwendet eine hochpräzise Rotorausrüstung, die das Substrat hält, wodurch ein gleichmäßiger Gasstrom entsteht. Zur Bereitstellung einer höheren Ätz-/Aschegeschwindigkeit ist auch eine Hochdruckgasquelle vorgesehen. Die Maschine ermöglicht durch ihren mehrstufigen Plattenätzkopf das gleichzeitige Ätzen/Aschen mehrerer Substrate. Diese weist nicht nur mehrere Plattenelektroden auf, sondern auch Präzisionsdüsen, die für die gewünschten Ätz-/Ascheparameter einstellbar sind. ILD 4033 bietet aufgrund des fortschrittlichen Reinigungsmoduls eine robuste Reinigungslösung. Dieses Reinigungsmodul umfasst sowohl eine statische chemische Reinigungsdose als auch ein HF-flexibles Reinigungssystem. Diese Merkmale arbeiten zusammen, um nach jedem Ätz-/Aschevorgang effektiv Rückstände aus dem Wafer und der Platte zu entfernen. Die Ausrüstung bietet auch einen effektiven Schutz vor Ätzschäden, durch seine "fortschrittliche Schutzeinheit. Dazu gehört eine Wechselstromversorgung zur effektiven Spannungsregelung; eine integrierte Verriegelungsmaschine, um Vibrationen aufgrund erhöhter Druckniveaus zu verhindern; und einen HF-Hochfrequenzgenerator für erhöhte elektrische Sicherheit im Falle eines Isolationsausfalls. Abschließend ist ANELVA ILD 4033 ein hochentwickeltes Ätz-/Aschewerkzeug, das eine konsistente, zuverlässige und effektive Lösung für die Herstellung elektronischer Komponenten und Geräte bietet. Seine zahlreichen Eigenschaften machen es zu einem hocheffizienten Werkzeug für die Komponentenfertigung, mit einem vielseitigen Satz von Ätz-/Aschefähigkeiten, einem genauen und schnellen Rotationswerkzeug und mehreren Reinigungs- und Schutzlösungen.