Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100 SVII #293654386 zu verkaufen

ID: 293654386
Oxide dry etcher.
CANON/ANELVA ILD 4100 SVII ist ein Ätzer/Ascher, der mittels induktiv gekoppelter Plasma (ICP) -Technologie eine hohe Genauigkeitskontrolle des Ätz-/Ascheprozesses erreicht. Das Gerät ist für den Einsatz in einer Vakuumkammer konzipiert, die eine mögliche Kompatibilität mit anderen Prozessen ermöglicht. CANON ILD 4100 SVII ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien mit ausgezeichneter Ätz-/Aschleistung und Oberflächenqualität zu verarbeiten. Das Hauptmerkmal des Systems ist die ICP-Quelle und die zugehörigen Netzteile. Diese Netzteile erzeugen und steuern den ICP, der zum Ätzen/Aschen des Zielmaterials verwendet wird. Der ICP erzeugt einen berührungslosen Reinigungsmechanismus, bei dem Ionen aus den Plasmasorten auf die Oberfläche des Materials auftreffen, was zur Zersetzung des Zielmaterials und zur Materialabtragung führt. Dieses Verfahren führt auch zu einer hohen Gleichmäßigkeit der geätzten/aschierten Oberfläche. Neben der ICP-Quelle und den Stromversorgungen verfügt ANELVA ILD 4100 SVII auch über eine integrierte Gasversorgungseinheit, die eine präzise Kontrolle der Plasmaspezies und ihrer Wechselwirkungen mit dem Prozesssubstrat ermöglicht. Die Maschine verfügt außerdem über eine Hochvakuum-Turbopumpe, die die Aufrechterhaltung eines niedrigen Vakuumzustands für eine optimale Ätz-/Ascheleistung ermöglicht. ILD 4100 SVII verfügt auch über mehrere ICP-Prozesskonfigurationen, die eine größere Flexibilität für eine breite Palette von Ätz-/Ashing-Anwendungen ermöglichen. Die Eigenschaften und Parameter des Werkzeugs, wie Druck, Gasfluss und ILD-Gaskonzentration, können ebenfalls präzise eingestellt und über die grafische Benutzeroberfläche (GUI) angezeigt und gesteuert werden. Dies ermöglicht es dem Anwender, den Ätz-/Ascheprozess genau zu steuern und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erhalten. CANON/ANELVA ILD 4100 SVII bietet auch eine Vielzahl von Sicherheits- und Sicherheitsfunktionen, wie die eingebaute Geräteüberwachung, die dem Benutzer Informationen wie Vakuumniveau und Temperatur des Modells zur Verfügung stellt. Insgesamt ist CANON ILD 4100 SVII ein hochentwickelter Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl von Funktionen, die Hochleistungs-Ätzen/Aschen ermöglichen. Die Ausrüstung ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, mit ausgezeichneter Ätz-/Aschleistung und Oberflächenqualität. Das System ist auch mit mehreren ICP-Prozesskonfigurationen, integrierter Gasversorgungseinheit und Hochvakuum-Turbopumpe für optimale Ätzleistung und Präzisionssteuerung des Ätz-/Ascheprozesses ausgestattet. ANELVA ILD 4100 SVII bietet auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die dem Benutzer die Möglichkeit geben, maximale Leistung von der Maschine zu erzielen.
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