Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SD #293806371 zu verkaufen

ID: 293806371
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Oxide dry etchers, 8" Chamber 1 and 2 Exhaust Power box (2) Turbo molecular pumps (4) Dry pumps 1998 vintage.
* * CANON/ANELVA ILD 4100SD Technische Übersicht * * CANON ILD 4100SD ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für präzise Oberflächenmodifizierungs- und Materialabtragungsprozesse in der Halbleiterherstellung und anderen Hightech-Industrien entwickelt wurde. Dieses hochmoderne System kombiniert fortschrittliche Plasmabearbeitungstechnologie mit modernsten Automatisierungsfunktionen, um in einer Produktionsumgebung überlegene Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten. ANELVA ILD 4100SD ist mit einer Reihe innovativer Funktionen ausgestattet, die hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse auf einer Vielzahl von Substraten ermöglichen, darunter Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und mehr. Die Hochleistungs-Vakuumkammer des Geräts soll eine gleichmäßige Plasmaverteilung und effiziente Gasphasenreaktionen gewährleisten, was zu präzisen und konsistenten Ätz-/Ascheergebnissen führt. Eines der wichtigsten Highlights der ILD 4100SD ist ihre vielseitige Prozessfähigkeit, die es Anwendern ermöglicht, eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessen mit hoher Präzision und Kontrolle durchzuführen. Die Maschine unterstützt sowohl Trockenätzen als auch Plasmaaschen und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Photoresist-Strippen, dielektrisches Ätzen, Oberflächenreinigung und mehr. CANON/ANELVA ILD 4100SD verfügt über eine Hochleistungs-Hochfrequenz (RF) -Plasmaquelle, die eine hoch ionisierte Plasmaumgebung erzeugt und eine schnelle und effiziente Materialentfernung mit minimaler Beschädigung der Substratoberfläche ermöglicht. Die fortschrittliche Gaslieferanlage des Werkzeugs ermöglicht eine präzise Steuerung von Prozessgasen, Durchflussraten und Drücken und gewährleistet optimale Prozessbedingungen für verschiedene Substrate und Prozessanforderungen. Neben seinen überlegenen Prozessfähigkeiten verfügt CANON ILD 4100SD auch über eine Reihe von Automatisierungsfunktionen, die die Produktivität und betriebliche Effizienz verbessern. Das Modell umfasst eine fortschrittliche Roboter-Wafer-Handhabung, die das vollautomatische Be- und Entladen von Wafern ermöglicht, die Zykluszeiten reduziert und den Eingriff des Bedieners minimiert. ANELVA ILD 4100SD wird von einer benutzerfreundlichen Software-Oberfläche gesteuert, die intuitive Prozesseinrichtungs-, Überwachungs- und Steuerungsfunktionen bietet. Die fortschrittliche Prozessrezept-Management-Einheit des Systems ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte einfach zu speichern und abzurufen, um konsistente Prozessergebnisse über verschiedene Produktionsläufe zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt ILD 4100SD über fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, um die Betreiber zu schützen und einen sicheren Betrieb in einer Produktionsumgebung zu gewährleisten. Die Maschine ist mit mehreren Verriegelungen, Gaslecksuchsensoren und Notabschaltsystemen ausgestattet, um Unfälle zu verhindern und potenzielle Gefahren zu mindern. Insgesamt ist CANON/ANELVA ILD 4100SD ein hochmodernes Ätzer/Ascher-Tool, das branchenführende Prozessfähigkeiten, Automatisierungsfunktionen und Sicherheitsmechanismen bietet und somit eine ideale Lösung für die Produktion von hochvolumigen Halbleitern und fortschrittliche Forschungs- und Entwicklungsanwendungen darstellt. Mit fortschrittlicher Plasmabearbeitungstechnologie, flexiblen Prozessfähigkeiten und robustem Design setzt CANON ILD 4100SD einen neuen Standard für präzise Oberflächenmodifizierung und Materialabtragung in der Halbleiterindustrie.
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