Gebraucht CANON / ANELVA ILD 4100SR #293637503 zu verkaufen

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 293637503
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Oxide dry etcher, 8" 1996 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4100SR ist ein vielseitiger industrieller Ätzer oder Ascher, der große Chargen von Substraten oder Wafern mit hervorragenden Ergebnissen handhaben kann. Ideal für Wafer-Würfel, Düsenaufsatz und IC-Verpackungsanwendungen bietet CANON ILD-4100SR Direktplasmaquelle, spezielle Trockenätz-/Bandtechnologie und gleichzeitiges Ätzen beider Seiten des Wafers. ANELVA ILD-4100 SR nutzt die proprietäre ILD-Technologie (Ionized Line Direction), um überlegene Prozessergebnisse zu gewährleisten. Der Hauptvorteil dieser Technologie ist die Gleichmäßigkeit des Ätzens über die gesamte Oberfläche des Wafers. Diese Technologie beseitigt auch Verunreinigungen im Plasma, die durch die Wechselwirkung des Plasmas mit der Oberfläche des Wafers entstehen. Die präzise und präzise Ätzung der ILD-Technologie hilft auch, präzise, wiederholbare Ergebnisse ohne manuelle Anpassungen zu erzielen. ILD 4100SR ist ein Hochleistungs-Industrieätzer, der in der Lage ist, Prozesse bis zu einer Tiefe von 7 µm in allen gängigen Halbleitern zu ätzen und zu strippen. Das System ist in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200mm zu verarbeiten, wodurch es für Wafer im Bereich von 0,25 bis 3,5mm geeignet ist. Die integrierten Mikroätz- (MIL) und Bandfähigkeiten des Systems bieten eine hervorragende Leistung in allen typischen Ätzoperationen wie Kupfer, Gold und Aluminium. CANON/ANELVA ILD-4100 SR bietet eine Vielzahl von Automatisierungsfunktionen, darunter Computerschnittstelle und externer Prozesszeitgeber. Dies ermöglicht schnelle, wiederholbare und präzise Ätzergebnisse. Das System verfügt auch über eine automatische Temperatur- und Leistungsregelung, die eine präzise und wiederholbare Temperaturregelung ermöglicht. ILD-4100 SR entspricht den Industriestandards für Umweltsicherheit und wurde von der Europäischen Union für die Einhaltung der EU RoHS-Vorschriften (Restriction of Hazardous Substances) zertifiziert. Dieser Ätzer ist auch mit einer ganzen Reihe von Zubehör und Chemikalien kompatibel, einschließlich Vakuumfach, elektrochemische Beschichtung, Dickfilmlithographie und Schlitzätzen. CANON ILD-4100 SR ist ein gut abgerundeter, robuster Industrieätzer, der große Chargen von Substraten oder Wafern mit Präzision und höchster Sicherheit handhaben kann. Die einzigartige ILD-Technologie sorgt für einheitliche Ätzergebnisse und die integrierten Automatisierungsfunktionen ermöglichen schnelle, präzise und wiederholbare Ergebnisse. ILD 4100 SR ist mit seiner branchenüblichen Zertifizierung und dem breiten Spektrum an kompatiblen Zubehörteilen und Chemikalien eine ideale Wahl für großvolumige industrielle Ätzanwendungen.
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